[实用新型]处理多晶硅尾气的系统

权利要求书

1.一种处理多晶硅尾气的系统，其特征在于，包括：

冷凝装置，所述冷凝装置具有多晶硅尾气入口、第一液态氯硅烷出口和混合气体出口；

吸收装置，所述吸收装置具有混合气体入口、氯硅烷入口、氢气出口和混合物出口，所述混合气体入口与所述混合气体出口相连；

第一加热装置，所述第一加热装置具有第一物料入口、第一物料出口、第一壳程进料口和第一壳程出料口，所述第一物料入口与所述第一液态氯硅烷出口和所述混合物出口相连；

第二加热装置，所述第二加热装置具有第二物料入口、第二物料出口、第二壳程进料口和第二壳程出料口，所述第二物料入口与所述第一物料出口相连；

解析装置，所述解析装置具有进料口、尾气出口和高温氯硅烷出口，所述进料口与所述第二物料出口相连，所述高温氯硅烷出口与所述第二壳程进料口相连；

水冷装置，所述水冷装置具有水冷物料入口和水冷物料出口，所述水冷物料入口与所述第二壳程出料口相连，所述水冷物料出口与所述第一壳程进料口相连；

纯化装置，所述纯化装置具有尾气入口、第二液态氯硅烷出口和氯化氢出口，所述第二液态氯硅烷出口与所述解析装置相连，所述尾气入口与所述尾气出口相连；

换热装置，所述换热装置具有管程物料入口、管程物料出口、壳程物料入口和壳程物料出口，所述管程物料入口与所述第一壳程出料口相连，所述壳程物料入口与所述氯化氢出口相连；以及

深冷装置，所述深冷装置具有深冷物料入口和深冷物料出口，所述深冷物料入口与所述管程物料出口相连，所述深冷物料出口与所述氯硅烷入口相连。

2.根据权利要求1所述的处理多晶硅尾气的系统，其特征在于，进一步包括：

三氯氢硅合成装置，所述三氯氢硅合成装置与所述壳程物料出口相连。

3.根据权利要求1所述的处理多晶硅尾气的系统，其特征在于，所述冷凝装置为四级冷凝器。

4.根据权利要求1所述的处理多晶硅尾气的系统，其特征在于，所述第一加热装置为五级换热器。