[实用新型]处理多晶硅尾气的系统

说明书

技术领域

本实用新型属于多晶硅生产领域，具体而言，本实用新型涉及一种处理多晶硅尾气的系统。

背景技术

在改良西门子法生产多晶硅的工艺流程中，还原、热氢化尾气一般采用CDI干法尾气回收工艺，即由四级冷凝、吸收、解析、吸收、再生和冷冻工序组成。在氯化氢吸收塔中，经过四级冷凝后的尾气(不凝气部分)与-40℃的氯硅烷液体流接触，尾气中绝大部分的氯化氢被吸收，吸收氯化氢的氯硅烷进入氯化氢解析塔，利用精馏原理，对氯化氢进行提纯、分离，-35～-30℃的液态氯化氢由塔顶直接输送至三氯氢硅合成工序，进行回收利用。

然而，现有的处理多晶硅尾气技术中存在能耗较大等问题，使得多晶硅尾气处理成本较高，不适合现如今节能降耗的发展趋势，因此，现有的处理多晶硅技术有待进一步改善。

实用新型内容

本实用新型旨在至少在一定程度上解决上述技术问题之一。为此，本实用新型的一个目的在于提出一种处理多晶硅尾气的系统，该系统可以起到节能降耗，并显著降低多晶硅生产成本的作用。

在本实用新型的一个方面，本实用新型提出了一种处理多晶硅尾气的系统，包括：

冷凝装置，所述冷凝装置具有多晶硅尾气入口、第一液态氯硅烷出口和混合气体出口；

吸收装置，所述吸收装置具有混合气体入口、氯硅烷入口、氢气出口和混合物出口，所述混合气体入口与所述混合气体出口相连；

第一加热装置，所述第一加热装置具有第一物料入口、第一物料出口、第一壳程进料口和第一壳程出料口，所述第一物料入口与所述第一液态氯硅烷出口和混合物出口相连；

第二加热装置，所述第二加热装置具有第二物料入口、第二物料出口、第二壳程进料口和第二壳程出料口，所述第二物料入口与所述第一物料出口相连；

解析装置，所述解析装置具有进料口、尾气出口和高温氯硅烷出口，所述进料口与所述第二物料出口相连，所述高温氯硅烷出口与所述第二壳程进料口相连；

水冷装置，所述水冷装置具有水冷物料入口和水冷物料出口，所述水冷物料入口与所述第二壳程出料口相连，所述水冷物料出口与所述第一壳程进料口相连；

纯化装置，所述纯化装置具有尾气入口、第二液态氯硅烷出口和氯化氢出口，所述第二液态氯硅烷出口与所述解析装置相连，所述尾气入口与所述尾气出口相连；

换热装置，所述换热装置具有管程物料入口、管程物料出口、壳程物料入口和壳程物料出口，所述管程物料入口与所述第一壳程出料口相连，所述壳程物料入口与所述氯化氢出口相连；以及

深冷装置，所述深冷装置具有深冷物料入口和深冷物料出口，所述深冷物料入口与所述管程物料出口相连，所述深冷物料出口与所述氯硅烷入口相连。

根据本实用新型实施例的处理多晶硅尾气的系统通过将过程中产生的热量和冷量循环使用，从而可以达到能量的综合利用和节能降耗的作用。

另外，根据本实用新型上述实施例的处理多晶硅尾气的系统还可以具有如下附加的技术特征：

在本实用新型的一些实施例中，所述处理多晶硅尾气的系统进一步包括：三氯氢硅合成装置，所述三氯氢硅合成装置与所述壳程物料出口相连。

在本实用新型的一些实施例中，所述冷凝装置为四级冷凝器。由此，可以显著提高尾气的冷凝效率。

在本实用新型的一些实施例中，所述第一加热装置为五级换热器。由此，可以显著提高换热效率。

本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。

附图说明

本实用新型的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：

图1是根据本实用新型一个实施例的处理多晶硅尾气的系统结构示意图；

图2是根据本实用新型又一个实施例的处理多晶硅尾气的系统结构示意图；

图3是利用本实用新型一个实施例的处理多晶硅尾气的系统实施处理多晶硅尾气的方法流程示意图；

图4是利用本实用新型又一个实施例的处理多晶硅尾气的系统实施处理多晶硅尾气的方法流程示意图。

具体实施方式

下面详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。