[实用新型]弧形工作面氟橡胶真空吸嘴有效
| 申请号： | 201420570444.4 | 申请日： | 2014-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN204130516U | 公开（公告）日： | 2015-01-28 |
| 发明（设计）人： | 关光武;姜喆 | 申请（专利权）人： | 关光武 |
| 主分类号： | H01L21/687 | 分类号： | H01L21/687 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518052 广东省深圳市南山区高*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 弧形 工作面 氟橡胶 真空 | ||
1.一种弧形工作面氟橡胶真空吸嘴，其包括用于吸附芯片的吸嘴主体；所述的吸嘴主体包括吸嘴以及与吸嘴一体设计的吸嘴垫；其特征在于：所述的吸嘴(1)的内部设有安装腔，该安装腔的底端设有真空通道，从真空通道两端的端面处分别延伸出端面圆形倒角，从该端面圆形倒角一端延伸形成一弧形工作面；该弧形工作面与芯片边缘形成线接触的接触部。
2.根据权利要求1所述弧形工作面氟橡胶真空吸嘴，其特征在于：所述的真空通道，两侧的端面圆形倒角，两侧的弧形工作面以及芯片形成真空吸腔。
3.根据权利要求1所述弧形工作面氟橡胶真空吸嘴，其特征在于：所述的接触部是由所述弧形工作面尾端接触部分与芯片两端边缘的接触部分相交接触处形成接触线。
4.根据权利要求1所述弧形工作面氟橡胶真空吸嘴，其特征在于：所述的弧形工作面的弧高介于10度至15度。
5.根据权利要求1所述弧形工作面氟橡胶真空吸嘴，其特征在于：所述的端面圆形倒角的角度介于5度至10度。
6.根据权利要求1所述弧形工作面氟橡胶真空吸嘴，其特征在于：所述的弧形工作面的展开面为长方形或正方形，该长方形或正方形的单边尺寸大于相对应的芯片的单边的尺寸3微米至5微米。
7.根据权利要求1所述弧形工作面氟橡胶真空吸嘴，其特征在于：所述的安装腔内部安装于安装杆，该安装腔内部的底端设置有用于固定安装杆位置的限位挡体。
8.根据权利要求7所述弧形工作面氟橡胶真空吸嘴，其特征在于：所述的限位档体是由长方形或圆环体或截面为长方体构成，所述的限位档体底部中心位置处与真空通道相互导通。
9.根据权利要求1所述弧形工作面氟橡胶真空吸嘴，其特征在于：所述的吸嘴垫的内部分别设置有真空通道，端面圆形倒角以及弧形工作面，该真空通道，端面圆形倒角，弧形工作面以及芯片一表面形成真空吸腔。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
