[实用新型]一种单晶炉的停炉冷却装置有效
申请号: | 201420573455.8 | 申请日: | 2014-09-30 |
公开(公告)号: | CN204151452U | 公开(公告)日: | 2015-02-11 |
发明(设计)人: | 杨正华;张鑫;李强;潘永娥;王文华 | 申请(专利权)人: | 宁夏隆基硅材料有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00;C30B29/06;F27D1/12 |
代理公司: | 西安弘理专利事务所 61214 | 代理人: | 罗笛 |
地址: | 755100 宁夏回*** | 国省代码: | 宁夏;64 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 单晶炉 冷却 装置 | ||
1.一种单晶炉的停炉冷却装置,其特征在于,包括内部空心的炉盖(7),炉盖(7)上分别设置有进水管(1)、出水管(3)和氩气进气管(5),进水管(1)上设置有进水管阀门(2),出水管(3)上设置有出水管阀门(4),氩气进气管(5)上设置有氩气阀,炉盖(7)的下表面通过两根导水管(8)连接有冷却主体(9),冷却主体(9)的下部连接有接触式冷却体(10),所述进水管(1)、炉盖(7)、导水管(8)、冷却主体(9)以及出水管(3)依次连通构成冷却循环系统。
2.如权利要求1所述的一种单晶炉的停炉冷却装置,其特征在于,所述冷却主体(9)为耐高温材质并且其下部与接触式冷却体(10)通过接触式冷却体连接杆(11)相连。
3.如权利要求1所述的一种单晶炉的停炉冷却装置,其特征在于,所述炉盖(7)的下端面设置有密封圈。
4.如权利要求1-3任一项所述的一种单晶炉的停炉冷却装置,其特征在于,所述炉盖(7)上设置有若干个用于悬挂在运输小车上的吊环(6)。
5.如权利要求4所述的一种单晶炉的停炉冷却装置,其特征在于,所述吊环(6)的数量为3个。
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