[实用新型]一种离子溅射仪控制系统有效
| 申请号： | 201420576372.4 | 申请日： | 2014-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN204086922U | 公开（公告）日： | 2015-01-07 |
| 发明（设计）人： | 陈道友;刘韵吉;谈步亮;杨敏红;高玉翠 | 申请（专利权）人： | 桑德斯微电子器件（南京）有限公司 |
| 主分类号： | G05B19/05 | 分类号： | G05B19/05 |
| 代理公司： | 南京知识律师事务所 32207 | 代理人： | 蒋海军 |
| 地址： | 211113 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 离子 溅射 控制系统 | ||
1.一种离子溅射仪控制系统，包括RF电源(4)和直流电源(6)，其特征在于：还包括PLC控制器(1)、真空仪表(2)、传感器(3)、触摸屏(5)和执行输出(7)，其中，所述的传感器(3)和PLC控制器(1)连接，传感器(3)采集的信号传输到PLC控制器(1)；PLC控制器(1)和执行输出(7)连接，PLC控制器(1)处理后的信号传输到执行输出(7)；所述的PLC控制器(1)还分别与真空仪表(2)、RF电源(4)、触摸屏(5)、直流电源(6)连接；所述的PLC控制器(1)分别与真空仪表(2)、RF电源(4)、触摸屏(5)和直流电源(6)之间进行双向信号传输；所述的传感器(3)设置于离子溅射仪机台内。
2.根据权利要求1所述的一种离子溅射仪控制系统，其特征在于：所述的PLC控制器(1)包含有88个数字量输入点，64个数字量输出点，4个输入模拟量接口和1个输出模拟量接口。
3.根据权利要求1所述的一种离子溅射仪控制系统，其特征在于：所述的PLC控制器(1)配置有I/O扩展模块。
4.根据权利要求1或2所述的一种离子溅射仪控制系统，其特征在于：所述的执行输出(7)包括离子溅射仪的机械泵、装载腔、溅射腔和运输小车。
5.根据权利要求1所述的一种离子溅射仪控制系统，其特征在于：所述的触摸屏(5)包括有显示区域，显示区域划分为工艺参数显示区、运行状态参数显示区和故障报警信息显示区。
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