[实用新型]一种多晶硅热氢化炉

权利要求书

1.一种热氢化炉，包括内炉筒(2)、外炉筒(1)以及底盘(5)，其特征在于，还包括隔热层(3)与底盘隔热层(6)，所述隔热层(3)置于所述内炉筒(2)的内侧，所述底盘隔热层(6)置于所述底盘(5)上表面。

2.如权利要求1所述的热氢化炉，其特征在于，所述隔热层(3)和所述底盘隔热层(6)为硅酸铝材料层或石墨毡层或纤维毡层或保温涂料层或岩棉层或硅酸盐材料层或硅酸钙材料层或玻璃棉层。

3.如权利要求1所述的热氢化炉，其特征在于，还包括套设于所述内炉筒(2)内部的耐温筒(4)，所述耐温筒(4)的外表面与所述内炉筒(2)相贴合，或所述耐温筒(4)的外表面与所述内炉筒(2)之间存在间隙；所述隔热层(3)置于所述耐温筒(4)的夹层内。

4.如权利要求3所述的热氢化炉，其特征在于，所述耐温筒(4)为石墨耐温筒或耐高温金属材质耐温筒或耐高温非金属材质耐温筒。

5.如权利要求3所述的热氢化炉，其特征在于，所述耐温筒(4)的厚度不大于1000mm，所述隔热层(3)的厚度不大于900mm。

6.如权利要求1至5任一项所述的热氢化炉，其特征在于，所述隔热层(3)的厚度和所述底盘隔热层(6)的厚度均不大于900mm。

7.如权利要求1所述的热氢化炉，其特征在于，还包括耐温板(7)，所述耐温板(7)与所述底盘隔热层(6)的上表面相贴合，或所述耐温板(7)为两层，两层所述耐温板(7)通过所述底盘隔热层(6)隔开。

8.如权利要求7所述的热氢化炉，其特征在于，所述耐温板(7)的厚度不大于500mm。

9.如权利要求1所述的热氢化炉，其特征在于，所述内炉筒(2)和所述外炉筒(1)通过水夹套(8)相隔开，所述水夹套(8)为供液体流通的第一通道；所述底盘(5)设置有供液体流通的第二通道。