[实用新型]一种多晶硅热氢化炉

说明书

技术领域

本实用新型涉及多晶硅生产工艺技术领域，特别是涉及一种多晶硅热氢化炉。

背景技术

现今在多晶硅生产工艺中仍广泛使用热氢化炉生产三氯氢硅。

由于热氢化炉中的四氯化硅转化反应温度一般控制在1250℃左右，而热氢化炉一般采用316L钢材，其耐温上限一般不超过500℃，此温度大大低于1250℃的反应温度。故为了保护热氢化炉，内炉筒和外炉筒通过水夹套相隔开，同样在炉筒底盘也设置有水通道，水在上述通道内流动，并带走内炉筒以及底盘内表面的热量，避免其表面温度超过钢材的耐温上限。

虽然通过利用水带走内炉筒和底盘内表面的热量，保护了设备，但是同时也导致大量热量被水带走。据计算，炉筒内气体的热量至少有1/3被水带走，从而导致热氢化炉内四氯化硅转化所需的电耗居高不下。

因此，如何降低热氢化炉内四氯化硅转化所需的电耗是本领域技术人员需要解决的技术问题。

实用新型内容

有鉴于此，本申请的目的是提供一种热氢化炉，可以减少热量损失，降低热氢化炉内四氯化硅转化所需的电耗。

本申请提供了一种热氢化炉，包括内炉筒、外炉筒以及底盘，还包括隔热层与底盘隔热层，所述隔热层置于所述内炉筒的内侧，所述底盘隔热层置于所述底盘上表面。

优选地，所述隔热层和所述底盘隔热层为硅酸铝材料层或石墨毡层或纤维毡层或保温涂料层或岩棉层或硅酸盐材料层或硅酸钙材料层或玻璃棉层。

优选地，还包括套设于所述内炉筒内部的耐温筒，所述耐温筒的外表面与所述内炉筒相贴合，或所述耐温筒的外表面与所述内炉筒之间存在间隙；所述隔热层置于所述耐温筒内。

优选地，所述耐温筒为石墨耐温筒或耐高温金属材质耐温筒或耐高温非金属材质耐温筒。

优选地，所述耐温筒的厚度不大于1000mm，所述隔热层的厚度不大于900mm。

优选地，所述隔热层的厚度和所述底盘隔热层的厚度均不大于900mm。

优选地，还包括耐温板，所述耐温板与所述底盘隔热层的上表面相贴合，或所述耐温板为两层，两层所述耐温板通过所述底盘隔热层相隔开。

优选地，所述隔热板的厚度不大于500mm。

优选地，所述内炉筒和所述外炉筒通过水夹套相隔开，所述水夹套为供液体流通的第一通道；所述底盘设置有供液体流通的第二通道。

本申请所提供的一种热氢化炉包括内炉筒、外炉筒和底盘，其中还包括能够耐高温的隔热层与底盘隔热层，隔热层置于内炉筒内侧，底盘隔热层置于底盘的上表面。如此，由于隔热层与底盘隔热层具有耐高温和保温隔热的特性，如此将隔热层与底盘隔热层分别设置于内炉筒的内侧与底盘的上表面，在生产时，均起到隔热的作用，降低了传导给内炉筒与底盘的热量。与现有技术利用水流动带走内炉筒和底盘的热量相比，由于设置隔热层与底盘隔热层，降低了炉内气体传导至内炉筒内壁与底盘的热量，可减少水所带走的热量，减少热量损失，进而可以降低热氢化炉内四氯化硅转化所需的电耗。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本申请所提供的一种具体实施方式中热氢化炉的结构示意图；

图2为本申请所提供的具体实施方式中隔热层的结构示意图；

图3为图2所示隔热层的横截面的结构示意图；

图4为本申请所提供的具体实施方式中耐温筒的结构示意图；

图5为图4所示耐温筒的横截面的结构示意图；

图6为本申请所提供的具体实施方式中底盘及底盘隔热层的结构示意图；

图7为本申请所提供的具体实施方式中耐温板的第一种设置方式的结构示意图；

图8为本申请所提供的具体实施方式中耐温板的第二种设置方式的结构示意图；

其中，图1至图8中：

外炉筒1、内炉筒2、隔热层3、耐温筒4、底盘5、底盘隔热层6、耐温板7、水夹套8。

具体实施方式

本实用新型公开了一种热氢化炉，可以减少热量损失，降低热氢化炉内四氯化硅转化所需的电耗。