[实用新型]一种线切机改进硅棒底托有效
| 申请号： | 201420587554.1 | 申请日： | 2014-10-11 |
| 公开（公告）号： | CN204160647U | 公开（公告）日： | 2015-02-18 |
| 发明（设计）人： | 王辉;柳丽强;及颜文;颜玉峰 | 申请（专利权）人： | 宁晋松宫电子材料有限公司 |
| 主分类号： | B28D7/04 | 分类号： | B28D7/04;B28D5/04 |
| 代理公司： | 河北东尚律师事务所 13124 | 代理人： | 王文庆 |
| 地址： | 055550 河北*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 线切机 改进 硅棒底托 | ||
【权利要求书】：
1.一种线切机改进硅棒底托，包括矩形的底托板(1)，其特征在于：在底托板(1)的上表面设置有降温槽(2)，降温槽(2)沿底托板(1)的长轴向平行分布，在降温槽(2)内设置有冷却液；所述的降温槽(2)组成一个首尾相通的回路结构，降温槽(2)的进口端设置在底板托(1)的一端，降温槽(2)的出口端设置在底板托(1)相对应的另一端；所述的降温槽(2)的个数为两个，分别为第一降温槽(2-1)和第二降温槽(2-2)，第一降温槽(2-1)和第二降温槽(2-2)互相平行设置，第一降温槽(2-1)的进口端设置在底板托(1)的一端，第二降温槽(2-2)的进口端设置在底板托(1)相对应的另一端。
2.根据权利要求1所述的一种线切机改进硅棒底托，其特征在于：所述的底托板(1)的上表面为表面光滑的平面。
3.根据权利要求2所述的一种线切机改进硅棒底托，其特征在于：所述的底托板(1)采用矩形的玻璃板制成。
4.根据权利要求1所述的一种线切机改进硅棒底托，其特征在于：所述的降温槽(2)的槽宽为8mm、槽深为4mm。
5.根据权利要求1所述的一种线切机改进硅棒底托，其特征在于：在底托板(1)的上表面设置有粘接层(3)。
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