[实用新型]一种线切机改进硅棒底托

说明书

技术领域

本实用新型涉及线切机的硅棒底托配件领域，尤其是一种线切机改进硅棒底托。

背景技术

目前金刚线切割大直径硅棒，一般的硅棒底托采用的材料为树脂板，其用于粘接硅棒，但树脂板极易受外部因素影响发生翘曲变形，从而造成硅片粘胶面瑕疵率的提高，且其价格较高，在使用中会造成很大的生产浪费。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种大大减少硅片粘胶面的瑕疵率，提高硅片切割质量的线切机改进硅棒底托。

为了完成上述目的，本实用新型采用的技术方案是：

一种线切机改进硅棒底托，包括矩形的底托板，在底托板的上表面设置有多个降温槽，降温槽沿底托板的长轴向平行分布，在降温槽内设置有冷却液。

所述的底托板的上表面为表面光滑的平面。

所述的底托板采用矩形的玻璃板制成。

所述的降温槽的槽宽为8mm、槽深为4mm。

在底托板的上表面设置有粘接层。

所述的降温槽组成一个首尾相通的回路结构，降温槽的进口端设置在底板托的一端，降温槽的出口端设置在底板托相对应的另一端。

所述的降温槽的个数为两个，分别为第一降温槽和第二降温槽，第一降温槽和第二降温槽互相平行设置，第一降温槽的进口端设置在底板托的一端，第二降温槽的进口端设置在底板托相对应的另一端。

本实用新型的有益效果是：由于将底托板采用矩形的玻璃板代替了原有的树脂板，在底托板的上表面设有降温槽并与硅棒面粘接，主要用于减少切割粘胶端的面积，并在降温槽内加装了冷却液降温，冷却液从所开的槽中通过，既降低切割过程中硅棒的温度，又降低了切割成本及瑕疵率。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图。

图2是图1的仰视图。

图3是图2的使用状态图。

图4是具体实施例2中本实用新型的结构示意图。

图5是具体实施例3中本实用新型的结构示意图。

图中，1、底托板，2、降温槽，2-1、第一降温槽，2-2、第二降温槽，3、粘接层。

具体实施方式

本实用新型为一种线切机改进硅棒底托，由于将底托板采用矩形的玻璃板代替了原有的树脂板，在底托板的上表面设有降温槽并与硅棒面粘接，主要用于减少切割粘胶端的面积，并在降温槽内加装了冷却液降温，冷却液从所开的槽中通过，既降低切割过程中硅棒的温度，又降低了切割成本及瑕疵率。

下面结合附图对本实用新型做进一步说明。

具体实施例1，如图1至图3所示，一种线切机改进硅棒底托，包括采用矩形的玻璃板制成的底托板1，底托板1的上表面为表面光滑的平面，在底托板1的上表面设置有多个降温槽2，降温槽2沿底托板1的长轴向平行分布，降温槽2的槽宽为8mm、槽深为4mm，在降温槽2内设置有冷却液，在底托板1的上表面还设置有粘接层3。由于将底托板1采用矩形的玻璃板代替了原有的树脂板，在底托板1的上表面设有降温槽2并与硅棒面粘接，主要用于减少切割粘胶端的面积，并在降温槽2内加装了冷却液降温，冷却液从所开的槽中通过，既降低切割过程中硅棒的温度，又降低了切割成本及瑕疵率。

具体实施例2，如图4所示，作为对本实用新型的改进，将所述的降温槽2组成一个首尾相通的回路结构，降温槽2的进口端设置在底板托1的一端，降温槽2的出口端设置在底板托1相对应的另一端，这样设置使得加装冷却液时可以只在降温槽2的一端加注，即可实现整体底板托1的冷却，不用在底板托1上多次加注冷却液，提高了工作效率。

具体实施例3，如图5所示，作为对本实用新型的进一步改进，因为在实施例2中，因为首尾相通的降温槽2长度过长，会出现冷却液在降温槽2的末端已经升温从而达不到冷却标准，失去对硅棒的冷却作用，可能会产生对硅棒的损坏，所以将所述的降温槽2的个数设为两个，分别为第一降温槽2-1和第二降温槽2-2，第一降温槽2-1和第二降温槽2-2互相平行设置，第一降温槽2-1的进口端设置在底板托1的一端，第二降温槽2-2的进口端设置在底板托1相对应的另一端，这样在底板托1的两端同时加注冷却液，使得硅棒整体都处于冷却液的降温范围之内，从而很好的解决了降温不均衡的问题，也提高了工作效率。