[实用新型]一种用于坩埚喷涂旋转加热台的新型侧板有效
| 申请号： | 201420595922.7 | 申请日： | 2014-10-16 |
| 公开（公告）号： | CN204134836U | 公开（公告）日： | 2015-02-04 |
| 发明（设计）人： | 彭秀花;陶亚明;刘兴翀;林洪峰 | 申请（专利权）人： | 天威新能源控股有限公司 |
| 主分类号： | B05C9/14 | 分类号： | B05C9/14;B05C11/00 |
| 代理公司： | 成都行之专利代理事务所(普通合伙) 51220 | 代理人： | 刘哲源 |
| 地址： | 610000 四川省成都*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 坩埚 喷涂 旋转 加热 新型 | ||
【权利要求书】：
1.一种用于坩埚喷涂旋转加热台的新型侧板，包括加热板和加热控制系统，其特征在于：
所述加热板包括四个侧板（1）和一个底板（2），其中侧板（1）和底板（2）构成上表面开口的长方体空腔结构，所述侧板（1）由上加热板（3）和下加热板（4）组成；还包括控制上加热板（3）的温度调节系统A，控制下加热板（4）的温度调节系统B以及控制底板（2）的温度调节系统C。
2.根据权利要求1所述的一种用于坩埚喷涂旋转加热台的新型侧板，其特征在于：
所述四个侧板（1）中的下加热板（4）的高度相同。
3.一种用于坩埚喷涂旋转加热台的新型侧板，包括加热板和加热控制系统，其特征在于：
所述加热板包括四个侧板（1）和一个底板（2），其中侧板（1）和底板（2）构成上表面开口的长方体空腔结构，所述侧板（1）由上加热板（3）和下加热板（4）组成；还包括控制上加热板（3）的温度调节系统A，控制下加热板（4）的温度调节系统B以及控制底板（2）的温度调节系统C；所述侧板（1）的高度大于放置在长方体空腔结构中的坩埚深度。
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B05 一般喷射或雾化；对表面涂覆液体或其他流体的一般方法
B05C 一般对表面涂布液体或其他流体的装置
B05C9-00 把液体或其他流体涂于表面的装置或设备，所采用的方法未包含在B05C 1/00至B05C 7/00组，或表面涂布液体或其他流体的方法不是重要的
B05C9-02 .对表面涂布液体或其他流体采用B05C 1/00至B05C 7/00中未包含的一个方法，不论是否还使用其他的方法
B05C9-04 .对工件的相对面涂布液体或其他流体
B05C9-06 .对工件的同一个面要求涂布两种不同的液体或其他流体，或者用同一种液体或其他流体涂布二次
B05C9-08 .涂布液体或其他流体并完成辅助操作
B05C9-10 ..在涂布之前完成辅助操作
B05C 一般对表面涂布液体或其他流体的装置
B05C9-00 把液体或其他流体涂于表面的装置或设备，所采用的方法未包含在B05C 1/00至B05C 7/00组，或表面涂布液体或其他流体的方法不是重要的
B05C9-02 .对表面涂布液体或其他流体采用B05C 1/00至B05C 7/00中未包含的一个方法，不论是否还使用其他的方法
B05C9-04 .对工件的相对面涂布液体或其他流体
B05C9-06 .对工件的同一个面要求涂布两种不同的液体或其他流体，或者用同一种液体或其他流体涂布二次
B05C9-08 .涂布液体或其他流体并完成辅助操作
B05C9-10 ..在涂布之前完成辅助操作
