[实用新型]一种用于坩埚喷涂旋转加热台的新型侧板

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种用于坩埚喷涂旋转加热台的侧板，尤其涉及一种使得坩埚侧壁温度均匀的坩埚喷涂旋转加热台的新型侧板。

背景技术

目前，光伏电池以多晶为主。定向凝固技术作为多晶太阳能硅片的制备方法被广泛应用。在定向凝固中，所用的坩埚在装料前需用纯水将粉末喷料氮化硅喷涂在石英坩埚表面，然后在加热的作用下使液态氮化硅均匀的吸附在坩埚表面以形成粉状涂层。粉末涂层使得坩埚在高温下与硅隔离。因此，粉末涂层的使用既避免了液态硅与坩埚反应而导致坩埚破裂，也保证了冷却后的硅锭脱落的完整性。

在喷涂过程中，喷涂温度需要根据不同氮化硅粉的最佳温度而定，喷涂时，温度过低容易导致坩埚涂层脱落、起泡等，温度过高又会使氮化硅液雾在没有着附坩埚前就已干燥产生粉末。因此，坩埚加热控制对硅锭质量至关重要。

现目前，利用坩埚喷涂旋转加热台对坩埚进行加热一般都是在坩埚的底部和侧壁分别使用一个加热控制装置。但由于坩埚上半部分与空气接触较近，周围环境温度较低，使得坩埚在加热过程中很容易出现侧壁上半部分升温较慢或喷涂过程中降温较快的现象。因此，在坩埚侧壁上只使用一个加热控制装置在一定范围内会影响坩埚侧壁温度的均匀性。

实用新型内容

为解决因坩埚侧壁温度不均而导致坩埚涂层出现起泡、掉粉等现象，本实用新型特提供一种用于坩埚喷涂旋转加热台的新型侧板。

本实用新型的技术方案如下：

一种用于坩埚喷涂旋转加热台的新型侧板，包括加热板和加热控制系统，所述加热板包括四个侧板和一个底板，其中侧板和底板构成上表面开口的长方体空腔结构，所述侧板由上加热板和下加热板组成；还包括控制上加热板的温度调节系统A，控制下加热板的温度调节系统B以及控制底板的温度调节系统C。

进一步，所述四个侧板中的下加热板的高度相同。

进一步，所述加热板包括四个侧板和一个底板，其中侧板和底板构成上表面开口的长方体空腔结构，所述侧板由上加热板和下加热板组成；还包括控制上加热板的温度调节系统A，控制下加热板的温度调节系统B以及控制底板的温度调节系统C；所述侧板的高度大于放置在长方体空腔结构中的坩埚深度。

在本实用新型中，侧板由上加热板和下加热板组成，温度调节系统A和温度调节系统B分别控制上加热板和下加热板，因此通过分别控制上加热板和下加热板可保证坩埚的侧壁温度均匀，避免因坩埚侧壁温度不均匀而导致坩埚涂层出现起泡、掉粉等现象。四个侧板中的下加热板的高度相同，使得旋转加热台被分割成两个完整的长方体空腔结构，进而便于分别对坩埚的上侧壁温度和下侧壁温度进行有针对性的控制。侧板的高度大于坩埚的深度，保证了坩埚的上半部不与空气接触，由此避免了坩埚上半部分降温较快。

附图说明

     图1为旋转加热台的结构示意图；

     其中附图标记所对应的零部件名称如下：

1-侧板，2-底板，3-上加热板，4-下加热板。

具体实施方式

下面结合附图对本发明的具体实施方式作进一步的说明。在此需要说明的是，对于这些实施方式的说明用于帮助理解本发发明，但并不构成对本发明的限定。此外，下面所描述的本发明各个实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互组合。

实施例1

如图1所示，一种用于坩埚喷涂旋转加热台的新型侧板，包括加热板和加热控制系统，所述加热板包括四个侧板1和一个底板2，其中侧板1和底板2构成上表面开口的长方体空腔结构，所述侧板1由上加热板3和下加热板4组成；还包括控制上加热板3的温度调节系统A，控制下加热板4的温度调节系统B以及控制底板2的温度调节系统C。

在本实施例中，侧板1分为上加热板3和下加热板4，温度调节系统A、温度调节系统B分别控制上加热板3、下加热板4。因此，通过分别调节温度调节系统A和温度调节系统B可实现喷涂过程中坩埚侧壁温度的均匀性。根据坩埚加热的具体要求，可通过温度调节系统调节电流大小或占空比来实现坩埚侧壁温度的均匀性。方法如下：加大上加热板3中的输入电流，减小下加热板4中的输入电流，直至缩小坩埚上侧壁和下侧壁的温差；或者延长一个周期内上加热板3的通电时间，缩短一个周期内下加热板4的通电时间，直至缩小坩埚上侧壁和下侧壁的温差。

实施例2

本实施例在实施例1的基础上，所述四个侧板1中的下加热板4的高度相同。