[实用新型]一种磁控溅射镀膜生产线的扩散泵水冷油镜装置有效
| 申请号： | 201420613951.1 | 申请日： | 2014-10-22 |
| 公开（公告）号： | CN204185553U | 公开（公告）日： | 2015-03-04 |
| 发明（设计）人： | 苏贵方 | 申请（专利权）人： | 肇庆市大力真空设备有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 | 代理人： | 裘晖 |
| 地址： | 526060 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 磁控溅射 镀膜 生产线 扩散 水冷 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种磁控溅射镀膜生产线的扩散泵水冷油镜装置，其特征在于：包括连接管、油镜座、油镜、第一密封圈和压盖，所述油镜座的一端通过连接管与扩散泵连接，所述油镜座内设有水冷槽，所述油镜座的圆周壁设有进水口和出水口，所述进水口和出水口均与水冷槽连通；所述油镜座的另一端设有油腔，所述油镜通过压盖与油镜座连接，且所述油镜的一端通过第一密封圈与油腔密封连接，所述压盖设有观察孔，所述观察孔与油镜相对设置。
2.根据权利要求1所述的磁控溅射镀膜生产线的扩散泵水冷油镜装置，其特征在于：所述进水口和出水口相对于油镜座的中心对称设置。
3.根据权利要求1所述的磁控溅射镀膜生产线的扩散泵水冷油镜装置，其特征在于：所述水冷槽呈环形。
4.根据权利要求1所述的磁控溅射镀膜生产线的扩散泵水冷油镜装置，其特征在于：所述水冷槽的槽宽a的大小为6mm～12mm；所述水冷槽的槽深b的大小为8mm～16mm。
5.根据权利要求1所述的磁控溅射镀膜生产线的扩散泵水冷油镜装置，其特征在于：所述油镜的另一端与压盖之间设有第二密封圈。
6.根据权利要求1所述的磁控溅射镀膜生产线的扩散泵水冷油镜装置，其特征在于：所述观察孔位于压盖中间。
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