[实用新型]一种磁控溅射镀膜生产线的扩散泵水冷油镜装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及磁控溅射镀膜生产线设备，具体涉及一种磁控溅射镀膜生产线的扩散泵水冷油镜装置。

背景技术

扩散泵是磁控溅射镀膜生产线中不或或缺的部件。扩散泵工作时会产生大量的热量。大量的热量使扩散泵的泵体和泵油温度的上升，从而造成扩散泵的工作效率变低。同时，为了方便观察扩散泵的情况，常使用油镜安装于扩散泵。为了防止温度影响扩散泵和油镜的工作，目前的扩散泵常使用散热片进行散热。但采用上述方式会存在以下缺陷：1、散热片的散热效果差，散热效率低，无法保证扩散泵具有良好的工作状态；2、油镜容易被刮花、破损，从而影响工作人员的观察；3、因散热效率低，扩散泵的泵体和泵温度过高，这导致油镜与扩散泵连接时使用的密封圈容易老化，故此密封圈需要频繁更换。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了克服以上现有技术存在的不足，提供了一种结构简单、合理，散热效果好且油镜不易破损的磁控溅射镀膜生产线的扩散泵水冷油镜装置。

本实用新型的目的通过以下的技术方案实现：本磁控溅射镀膜生产线的扩散泵水冷油镜装置，包括连接管、油镜座、油镜、第一密封圈和压盖，所述油镜座的一端通过连接管与扩散泵连接，所述油镜座内设有水冷槽，所述油镜座的圆周壁设有进水口和出水口，所述进水口和出水口均与水冷槽连通；所述油镜座的另一端设有油腔，所述油镜的一端通过压盖与油镜座连接，且所述油镜通过第一密封圈与油腔密封连接，所述压盖设有观察孔，所述观察孔与油镜相对设置。

优选的，所述进水口和出水口相对于油镜座的中心对称设置。

优选的，所述水冷槽呈环形。

优选的，所述水冷槽的槽宽a的大小为6mm～12mm；所述水冷槽的槽深b的大小为8mm～16mm。

优选的，所述油镜的另一端与压盖之间设有第二密封圈。

优选的，所述观察孔位于压盖中间。

本实用新型相对于现有技术具有如下的优点：本磁控溅射镀膜生产线的扩散泵水冷油镜装置包含油镜座、油镜、第一密封圈和压盖等部件，且油镜座内设有水冷槽，这通过水冷的方式对扩散泵进行散热，故大大提高了散热速度，散热效果好，避免扩散泵因温度过高而无法保持良好的抽气状态，同时也避免油镜因温度过而损坏；本磁控溅射镀膜生产线的扩散泵水冷油镜装置座和压盖可对油镜提供充足的防护，则油镜不容易被刮花，也不容易破损，保证了工作人员可具有很好的视角观察扩散泵；本磁控溅射镀膜生产线的扩散泵水冷油镜装置采用水冷散热，散热效率高，故密封圈不会因温度过高而容易老化，从而不需要频繁更换密封圈，方便维护；本磁控溅射镀膜生产线的扩散泵水冷油镜装置的结构简单，方便安装和维护。

附图说明

图1是本实用新型的磁控溅射镀膜生产线的扩散泵水冷油镜装置的正视方向的剖视图。

图2是本实用新型的磁控溅射镀膜生产线的扩散泵水冷油镜装置的俯视方向的剖视图。

图3是本实用新型的磁控溅射镀膜生产线的扩散泵水冷油镜装置的左视图。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步说明。

如图1至图3所示的磁控溅射镀膜生产线的扩散泵水冷油镜装置，包括连接管1、油镜座2、油镜3、第一密封圈4和压盖5，所述油镜座2的一端通过连接管1与扩散泵连接，所述油镜座2内设有水冷槽6，所述油镜座2的圆周壁设有进水口7和出水口8，所述进水口7和出水口8均与水冷槽6连通；所述油镜座2的另一端设有油腔9，所述油镜3通过压盖5与油镜座2连接，且所述油镜3的一端通过第一密封圈4与油腔9密封连接，所述压盖5设有观察孔10，所述观察孔10与油镜3相对设置。具体的，第一密封圈4采用丁腈橡胶制成，这是为了使第一密封圈4具有良好的密封效果，同时也延长第一密封圈4的使用寿命。而压盖5通过螺栓11与油镜座2连接。

具体的，如图1和图2，进水口7和出水口8分别位于油镜座2的前、后端，且进水口7和出水口8均与呈环形的水冷槽6连通。水冷槽6呈环形设置，这可保证水冷槽6可容纳足量的冷却水，从而进一步提高散热效果。扩散泵工作时，冷却水自进水口7进入水冷槽6，然后水冷槽6的冷却水再从出水口8流出，以此同时，从出水口流出的冷却水带走扩散泵工作产生的热量，从而起到良好的散热效果。为了使油镜座2的油腔9的泵油流动顺畅，连接管1包含进油管101和出油管102，所述进油管101和出油管102与油腔9连通。

所述进水口7和出水口8相对于油镜座2的中心对称设置。采用此设计，这为了让冷却水可以油镜座内流动较长的距离，从而保证散热效果。