[实用新型]一种玻璃基板研磨机研磨和输送基板用气浮装置

权利要求书

1.一种玻璃基板研磨机研磨和输送基板用气浮装置，其特征在于：包括气浮块(1)和顶紧螺钉(2)，所述的气浮块(1)内部设有空腔(12)，其上部为平面，平面上设有多个出气孔(11)，下部设有进气孔(13)，出气孔(11)和进气孔(13)均与空腔(12)连通；所述的顶紧螺钉(2)与气浮块(1)螺纹连接。

2.根据权利要求1所述的一种玻璃基板研磨机研磨和输送基板用气浮装置，其特征在于：所述的多个出气孔(11)均匀分布在所述平面上，出气孔(11)的直径为2mm。

3.根据权利要求2所述的一种玻璃基板研磨机研磨和输送基板用气浮装置，其特征在于：所述的气浮块(1)为四方体结构，所述出气孔(11)的中心线与四方体结构上表面垂直。

4.根据权利要求1所述的一种玻璃基板研磨机研磨和输送基板用气浮装置，其特征在于：所述的空腔(12)为直径9mm、长90mm的圆柱型空腔。

5.根据权利要求1所述的一种玻璃基板研磨机研磨和输送基板用气浮装置，其特征在于：所述的顶紧螺钉(2)一端为螺栓(21)，另一端为四方头(22)，且四方头(22)外切圆直径小于或等于螺栓(21)的直径，螺栓(21)的直径为10mm。

6.根据权利要求5所述的一种玻璃基板研磨机研磨和输送基板用气浮装置，其特征在于：所述的气浮块(1)侧面设有M10×15mm的螺栓孔(14)，该螺栓孔(14)与空腔(12)连通；所述螺栓(21)与该螺栓孔(14)配合连接。

7.根据权利要求1所述的一种玻璃基板研磨机研磨和输送基板用气浮装置，其特征在于：所述的进气孔(13)为一个或多个。

8.根据权利要求1所述的一种玻璃基板研磨机研磨和输送基板用气浮装置，其特征在于：所述的气浮块(1)和顶紧螺钉(2)的材质均为聚四氟乙烯。