[实用新型]一种电子元件双面镀膜装置

权利要求书

1.一种电子元件双面镀膜装置，其特征在于：包括输送机构、输送平台、以及若干设置在输送机构上方的上溅射靶和若干设置在输送机构下方的下溅射靶；所述输送平台上设置有用于放置电子元件的若干放置孔；

所述上溅射靶与下溅射靶均为旋转圆柱形溅射靶；

所述输送机构包括长传动辊和短传动辊，其中短传动辊与下溅射靶设置在同一竖直平面上。

2.根据权利要求1所述电子元件双面镀膜装置，其特征在于：所述电子元件通过夹具固定，所述夹具包括用于遮挡电子元件的上夹板与下夹板以及用于固定电子元件的中间定位板。

3.根据权利要求1所述电子元件双面镀膜装置，其特征在于：所述输送机构前端设置有用于控制所述上溅射靶和所述下溅射靶开启的第一行程开关，所述输送机构末端设置有用于控制所述上溅射靶和所述下溅射靶关闭的第二行程开关。

4.根据权利要求3所述电子元件双面镀膜装置，其特征在于：所述第一行程开关和第二行程开关均为耐高温开关。