[实用新型]一种用于真空镀膜机的新型转架装置有效
| 申请号： | 201420695098.2 | 申请日： | 2014-11-19 |
| 公开（公告）号： | CN204138750U | 公开（公告）日： | 2015-02-04 |
| 发明（设计）人： | 郭涛;蔡云锋;龙腾 | 申请（专利权）人： | 深圳市莱恩顿纳米技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/50 |
| 代理公司： | 深圳众鼎专利商标代理事务所(普通合伙) 44325 | 代理人： | 朱业刚;谭果林 |
| 地址： | 518000 广东省深*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 真空镀膜 新型 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种用于真空镀膜机的新型转架装置，包括转架、铁基齿轮、传动轴、轴承、双层隔热板、水冷槽；其特征是，所述转架底部设有铁基齿轮，该铁基齿轮两侧设有轴承；该轴承上端设有传动齿轮，该传动齿轮与传动轴下方固定的定齿轮啮合；所述转架周边设有双层隔热板，该双层隔热板之间设有水冷槽，其中水冷槽的空隙内注有冷却液。
2.根据权利要求1所述的一种用于真空镀膜机的新型转架装置，其特征是，所述隔热板为不锈钢板，且隔热板厚度为2～5mm。
3.根据权利要求1所述的一种用于真空镀膜机的新型转架装置，其特征是，所述传动轴上设有水冷水套。
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