[实用新型]一种用于真空镀膜机的新型转架装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜技术领域，尤其是涉及一种用于真空镀膜机的新型转架装置。

背景技术

真空镀膜机用于在真空中对工件镀膜，真空镀膜机包含构成于工件的加工腔体的真空室，真空室内设置有转架装置，该转架装置可以通过驱动装置驱动转动，从而实现工件的转动。

现有一般的PVD真空镀膜真空室的转架直接安装在真空室内。转架需要一个复杂的传动结构以保证安置在其上的工件进行稳定的自转和公转。此传动结构含有众多的齿轮和轴承。由于PVD真空室内在使用过程中需要电热丝加热，一般需要加热至400-550℃，在此高温下一般铁基齿轮和轴承无法正常工作，现有的设备大多采用陶瓷齿轮和轴承，然而陶瓷本身易脆、受力低且造价昂贵、制造周期长。

发明内容

本实用新型目的是克服现有技术的不足，提供一种用于真空镀膜机的新型转架装置。

为解决上述技术问题，本实用新型所采用的技术方案是：一种用于真空镀膜机的新型转架装置，包括转架、铁基齿轮、传动轴、轴承、双层隔热板、水冷槽；所述转架底部设有铁基齿轮，该铁基齿轮两侧设有轴承；该轴承上端设有传动齿轮，该传动齿轮与传动轴下方固定的定齿轮啮合；所述转架周边设有双层隔热板，该双层隔热板之间设有水冷槽，其中水冷槽的空隙内注有冷却液。

作为优选，所述隔热板为不锈钢板，且隔热板厚度为2～5mm。

作为优选，所述传动轴上设有水冷水套。

本实用新型通过对转架与真空室进行隔离，在真空室与转架之间采用双层3mm厚的不锈钢板进行隔离，同时在转架周围加装水冷水套，使用冷水机冷水对水套降温。使得转架辐射出来的热量被迅速带走，这样转架在设备正常工作时的温度能达到铁基齿轮和轴承的使用范围。

附图说明

图1是本实用新型结构示意图。

具体实施方式

下面通过实施例，并结合附图，对本实用新型的技术方案作进一步具体说明。

图1是本实用新型结构示意图。由图1可知，一种用于真空镀膜机的新型转架装置，包括主要由转架5、铁基齿轮4、传动轴6、轴承2、双层隔热板1、10、水冷槽3、水冷水套31等组成。转架5底部设有铁基齿轮4，该铁基齿轮4两侧设有轴承2；该轴承2上端设有传动齿轮8，该传动齿轮8与传动轴6下方固定的定齿轮7啮合，其中传动轴6上设有水冷水套31。转架5周边设有双层隔热板1、10，隔热板1、10为不锈钢板，且厚度为2～5mm。双层隔热板1、10之间设有水冷槽3，其中水冷槽3的空隙内注有冷却液。

本实用新型通过对转架与真空室进行隔离，在真空室与转架之间采用双层3mm厚的不锈钢板进行隔离，大部分热辐射被反射入真空室内，只有少部分被转架吸收使得转架温度升高。加装间接水冷，在转架周围加装水冷水套，使用冷水机冷水对水套降温。由于转架部分与真空室处于基本隔离状态，转架部分的热量也将以辐射方式向外发散，因转架周围的水套温度很低，使得转架辐射出来的热量被迅速带走，这样转架在设备正常工作时的温度能达到铁基齿轮和轴承的使用范围，实现使用铁基齿轮和轴承进行传动的目的。

本实用新型通过上述实施例来说明本实用新型的实施方案及结构，但本专利并不局限于上述实施方式，凡采用和本实用新型相似结构来实现本实用新型目的的所有方式，均在本实用新型的保护范围之内。