[实用新型]一种一体化射频功率源

权利要求书

1.一种一体化射频功率源，其特征在于，包括冷却风道(1)、电子管(2)、内腔体(3)、耦合板(4)、同轴连接器(5)、电容板(6)、隔直电容(7)和外壳(8)；

所述冷却风道(1)位于所述内腔体(3)的右侧，所述电子管(2)位于所述内腔体(3)的内部正中间，所述耦合板(4)位于所述内腔体(3)左侧下方，所述耦合板(4)的上端与所述同轴连接器(5)的一端相连，下端与所述外壳(8)相连，所述同轴连接器(5)的另一端与所述外壳(8)连接并暴露于所述外壳(8)外部，所述电容板(6)位于所述内腔体(3)外侧上方，所述电容板(6)的上端与所述外壳(8)相连，所述隔直电容(7)位于所述电子管(2)和所述内腔体(3)之间并与所述电子管(2)和所述内腔体(3)均相连。

2.根据权利要求1所述的一体化射频功率源，其特征在于，所述冷却风道(1)为方形金属管道。

3.根据权利要求1所述的一体化射频功率源，其特征在于，所述电子管(2)通过阳极盘(9)与所述隔直电容(7)相连接。

4.根据权利要求1所述的一体化射频功率源，其特征在于，所述内腔体(3)为圆筒形结构金属内腔体。

5.根据权利要求1所述的一体化射频功率源，其特征在于，所述内腔体(3)通过金属盘(10)与所述隔直电容(7)相连接。

6.根据权利要求1所述的一体化射频功率源，其特征在于，所述耦合板(4)包括第一金属板、第二金属板和二分之一圆弧金属板，所述第一金属板与所述同轴连接器(5)相连，所述第二金属板与所述外壳(8)相连,所述第一金属板、所述第二金属板分别与所述二分之一圆弧金属板的顶端和底端垂直连接。

7.根据权利要求6所述的一体化射频功率源，其特征在于，所述二分之一圆弧金属板围绕所述内腔体(3)的底端，且与所述内腔体(3)存在一定间隙。

8.根据权利要求1所述的一体化射频功率源，其特征在于，所述同轴连接器(5)为50欧姆同轴连接器。

9.根据权利要求1所述的一体化射频功率源，其特征在于，所述电容板(6)为圆筒形状的电容板,位于所述内腔体(3)外侧上方并与所述内腔体(3)存在一定间隙。

10.根据权利要求1所述的一体化射频功率源，其特征在于，所述隔直电容(7)为薄膜介质隔直电容，所述隔直电容(7)包括两个圆筒形的金属层,且所述两个圆筒形的金属层中间夹有一层介质。