[实用新型]光刻机及光刻机用上版夹具

权利要求书

1. 一种光刻机用上版夹具，用于使放置于曝光平台上的铬版中心与对应的曝光图形中心对齐，其特征在于，所述上版夹具包括将铬版在第一轴向上定位的第一轴向定位条，与第一轴向定位条一体成型的、将铬版在第二轴向上定位的第二轴向定位条，且第一轴向定位条、第二轴向定位条的外侧缘分别抵于设于曝光平台上的第一轴向定位钉、第二轴向定位钉，内侧缘分别抵于铬版的第一边缘和第二边缘。

2. 如权利要求1所述的光刻机用上版夹具，其特征在于，第一轴向定位条、第二轴向定位条的内侧缘分别沿垂直于所在的轴向方向延伸形成抵顶块，所述抵顶块用于抵顶所述铬版。

3. 如权利要求2所述的光刻机用上版夹具，其特征在于，所述抵顶块呈半圆形、椭圆形或方块形。

4. 如权利要求1所述的光刻机用上版夹具，其特征在于，所述上版夹具呈L形。

5. 一种光刻机，所述光刻机的曝光平台上均匀设置多个呈点阵状排列的吸气孔，其特征在于，所述光刻机的曝光平台上沿第一轴向方向和第二轴向的吸气孔中分别设有第一轴向定位钉和第二轴向定位钉，所述光刻机包括如权利要求1至4中任一项所述的光刻机用上版夹具。

6. 如权利要求5所述的光刻机，其特征在于，所述第一轴向定位钉和第二轴向定位钉分别设于曝光平台的边缘位置。