[实用新型]光刻机及光刻机用上版夹具

说明书

技术领域

本实用新型涉及铬版制造技术领域，尤其涉及一种光刻机及光刻机用上版夹具。

背景技术

现有光刻机（如德国海德堡MW800光刻机）的操作步骤如下：上版——定位——移动平台——聚焦——找中心——曝光——取版。其中，找中心是使放置于曝光平台1上的铬版2中心与对应的曝光图形中心对齐，误差不超过1MM，请参阅图1，现有操作方式是将铬版2与曝光平台1的边缘直接对齐后不断调整来找中心，移动平台、聚焦需要1分钟，找中心需要3分钟，取版需要1分钟，总共需要耗时7分钟，导致光刻速度低，严重影响了生产效率。

实用新型内容

本实用新型实施例所要解决的技术问题在于，提供一种操作简单，节省操作时间，提升生产效率的光刻机及光刻机用上版夹具。

为了解决上述技术问题，本实用新型实施例提出了一种光刻机用上版夹具，用于使放置于曝光平台上的铬版中心与对应的曝光图形中心对齐，所述上版夹具包括将铬版在第一轴向上定位的第一轴向定位条，与第一轴向定位条一体成型的、将铬版在第二轴向上定位的第二轴向定位条，且第一轴向定位条、第二轴向定位条的外侧缘分别抵于设于曝光平台上的第一轴向定位钉、第二轴向定位钉，内侧缘分别抵于铬版的第一边缘和第二边缘。

进一步地，第一轴向定位条、第二轴向定位条的内侧缘分别沿垂直于所在的轴向方向延伸形成抵顶块，所述抵顶块用于抵顶所述铬版。

进一步地，所述抵顶块呈半圆形、椭圆形或方块形。

进一步地，所述上版夹具呈L形。

相应地，本实用新型实施例还提供了一种光刻机，所述光刻机的曝光平台上均匀设置多个呈点阵状排列的吸气孔，所述光刻机的曝光平台上沿第一轴向方向和第二轴向的吸气孔中分别设有第一轴向定位钉和第二轴向定位钉，所述光刻机包括如上所述的光刻机用上版夹具。

进一步地，所述第一轴向定位钉和第二轴向定位钉分别设于曝光平台的边缘位置。

本实用新型实施例的光刻机用上版夹具的有益效果是：通过设置一体成型的第一轴向定位条、第二轴向定位条，且对应的外侧缘分别抵于设于曝光平台上的第一轴向定位钉、第二轴向定位钉，内侧缘分别抵于铬版的第一边缘和第二边缘，从而使用所述上版夹具可使铬版直接对齐，操作简单，节省了操作时间，提升了生产效率。

附图说明

图1是现有技术的上版对齐示意图。

图2是本实用新型实施例的光刻机用上版夹具的使用示意图。

图3是本实用新型实施例的光刻机用上版夹具的另一角度的使用示意图。

具体实施方式

需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互结合，下面结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步详细说明。本说明书中，第一轴优选为X轴，第二轴优选为Y轴。

请参考图2至图3，本实用新型实施例提供了一种光刻机用上版夹具10，所述上版夹具10呈L形，当然也可呈U形。所述上版夹具10用于使放置于曝光平台30上的铬版100中心与对应的曝光图形中心对齐，包括将铬版100在第一轴向上定位的第一轴向定位条，与第一轴向定位条一体成型的、将铬版100在第二轴向上定位的第二轴向定位条，且第一轴向定位条、第二轴向定位条的外侧缘分别抵于设于曝光平台30上的第一轴向定位钉20、第二轴向定位钉20，内侧缘分别抵于铬版100的第一边缘和第二边缘。优选地，所述上版夹具10采用透明塑胶材料制成，更方便对齐操作。

第一轴向定位条、第二轴向定位条的内侧缘分别沿垂直于所在的轴向方向延伸形成抵顶块11，所述抵顶块11用于抵顶所述铬版100。优选地，所述抵顶块11呈半圆形、椭圆形或方块形。借由所述抵顶块11减少了所述上版夹具10与铬版100的接触面积，实现精确定位的同时，减少了对铬版100的接触磨损，可对铬版100边缘更有效地保护。

本实用新型实施例还提供了一种光刻机，所述光刻机优选为德国海德堡MW800光刻机，曝光平台30上均匀设置多个呈点阵状排列的吸气孔，所述光刻机的曝光平台30上沿第一轴向方向和第二轴向的吸气孔中分别设有第一轴向定位钉20和第二轴向定位钉20，所述光刻机包括如上所述的光刻机用上版夹具10。作为一种实施方式，所述吸气孔用于吸附固定所述铬版100和上版夹具10。优选地，所述曝光平台上还设有用于压紧固定所述铬版100和/或上版夹具10的压紧装置。

所述第一轴向定位钉20和第二轴向定位钉20分别设于曝光平台30的边缘位置。

本实用新型实施例的光刻机用上版夹具10具体的制造和使用过程为：