[实用新型]一种抛光机定盘盘面的修复装置有效
| 申请号： | 201420736733.7 | 申请日： | 2014-11-28 |
| 公开（公告）号： | CN204262959U | 公开（公告）日： | 2015-04-15 |
| 发明（设计）人： | 易德福;吴城;梁媛华 | 申请（专利权）人： | 易德福 |
| 主分类号： | B24B37/10 | 分类号： | B24B37/10;B24B37/34;B24B57/02;B24B49/00 |
| 代理公司： | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 | 代理人： | 汤东凤 |
| 地址： | 100000 北京市海淀*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 抛光机 盘盘 修复 装置 | ||
1.一种抛光机定盘盘面的修复装置，其特征在于，包括抛光机定盘和与所述抛光机定盘配合使用的喷淋机构和研磨机构；
其中所述抛光机定盘上设有定盘盘面和一环形集水槽，所述集水槽设置在所述抛光机定盘上端部的外侧边沿上，所述定盘盘面设置在所述抛光机定盘上端部的中部，所述定盘盘面所在的平面高于所述集水槽所在的平面；
所述喷淋机构包括一研磨液输送管道和一与所述研磨液输送管道连通的喷淋头，所述喷淋头通过机械臂移动到所述抛光机定盘的上方，所述喷淋头上设有一研磨液控制开关；
所述研磨机构包括抛光头和一安装在所述抛光头上的研磨盘，所述抛光头中部设有一用于带动所述抛光头和所述研磨盘转动的转轴。
2.如权利要求1所述的抛光机定盘盘面的修复装置，其特征在于：还包括一平整度检测机构。
3.如权利要求2所述的抛光机定盘盘面的修复装置，其特征在于：还包括一用于移动所述喷淋机构的第一机械臂。
4.如权利要求3所述的抛光机定盘盘面的修复装置，其特征在于：还包括一用于移动所述研磨机构的第二机械臂。
5.如权利要求4所述的抛光机定盘盘面的修复装置，其特征在于：还包括一用于控制所述第一机械臂和/或所述第二机械臂和/或所述研磨液控制开关动作的控制芯片。
6.如权利要求1-5任一所述的抛光机定盘盘面的修复装置，其特征在于：所述集水槽上设有一排液口。
7.如权利要求6所述的抛光机定盘盘面的修复装置，其特征在于：所述定盘盘面所在的平面高于所述集水槽所在的平面0.5-1厘米。
8.如权利要求7所述的抛光机定盘盘面的修复装置，其特征在于：所述集水槽的横截面直径为1.5-2.5厘米。
9.如权利要求2所述的抛光机定盘盘面的修复装置，其特征在于：所述平整度检测机构为平整度检测仪。
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