[实用新型]一种MEMS麦克风有效
| 申请号： | 201420739360.9 | 申请日： | 2014-11-28 |
| 公开（公告）号： | CN204291390U | 公开（公告）日： | 2015-04-22 |
| 发明（设计）人： | 王顺;李欣亮 | 申请（专利权）人： | 歌尔声学股份有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 261031 山东省潍*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 mems 麦克风 | ||
【权利要求书】：
1.一种MEMS麦克风，包括上盖和基板组成的封装结构，所述封装结构内的所述基板上设置有MEMS声学芯片和ASIC芯片，所述上盖设置有凹槽，形成容纳所述MEMS声学芯片和ASIC芯片的空腔，所述封装结构外部的所述上盖上设置有焊盘，所述基板上设置有声孔，其特征在于：所述上盖的凹槽所形成的空腔内壁上设置有凸台。
2.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于：所述上盖包括第一线路板和第二线路板，所述第一线路板为具有中空腔体的框架结构，所述第一线路板通过半固化片热压在第二线路板的端面上。
3.根据权利要求2所述的MEMS麦克风，其特征在于：所述凸台设置在所述第一线路板的内壁上，支撑所述第二线路板和所述基板。
4.根据权利要求3所述的MEMS麦克风，其特征在于：在所述第一线路板的内壁上还设置有金属层，在所述金属层的外侧设置有绝缘层。
5.根据权利要求4所述的MEMS麦克风，其特征在于：所述凸台设置在所述第一线路板内壁的中间位置。
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