[实用新型]光罩取料装置及其夹持机构

权利要求书

1.一种光罩取料装置，其特征在于：该光罩取料装置至少包含有一开盒机构及一设于开盒机构上的夹持机构，供分别开启一光罩传送盒及取放一置于该光罩传送盒内的光罩，其中光罩传送盒包含有一供支撑光罩的底板及一供覆盖底板形成密闭空间的盖体；

而该开盒机构具有一基板，而基板上设有一能够承载光罩传送盒底板上、下位移的移动板，另基板上设有一位于移动板上方的顶板，顶板可供光罩传送盒定位，又顶板上形成有一供底板穿经的通孔；

夹持机构设于基板上的移动板一侧，其具有一能够相对基板上、下位移的座板，且座板底面设有一驱动件，该驱动件可供驱动一枢设于座板顶面的旋转悬臂转动，再者旋转悬臂的自由端设有一夹持器，该夹持器具有两同步相对远离或靠近的夹持头，供同步夹掣或释放光罩的相对两侧边缘。

2.根据权利要求1所述的光罩取料装置，其特征在于：该基板顶面设有复数立柱，而移动板滑设于各该立柱间，且顶板跨设于各该立柱顶端，该移动板利用一设于基板底面的第一制动件驱动而上、下位移。

3.根据权利要求1所述的光罩取料装置，其特征在于：该移动板上设有供光罩传送盒底板支撑定位的撑托件，且移动板上还设有一可供选择性开启光罩传送盒的底板与盖体的拨动件。

4.根据权利要求1所述的光罩取料装置，其特征在于：该移动板上设有供光罩传送盒底板支撑定位的撑托件，且移动板上还设有一可供选择性释放前述底板与盖体锁结的拨动件。

5.根据权利要求1所述的光罩取料装置，其特征在于：该基板上设有至少两个衬套，各衬套分别供一滑杆滑设，而夹持机构的座板跨设于各该滑杆顶端，基板底面在滑杆所围范围中心设有一第二制动件，第二制动件的输出轴设有一与各该滑杆连接的连板，供第二制动件同步驱动各该滑杆相对基板滑移。

6.根据权利要求1所述的光罩取料装置，其特征在于：该夹持机构的夹持器夹持头相对表面分别具有一相对ㄈ形缺口的夹持件，而夹持件的缺口上、下边缘呈向外扩张的斜缘。

7.根据权利要求6所述的光罩取料装置，其特征在于：该夹持件是PEEK材质所制成。

8.一种夹持机构，其特征在于：其具有一夹持器，该夹持器具有两同步相对远离或靠近的夹持头，供同步夹掣或释放一光罩的相对两侧边缘，且各该夹持器的夹持头相对表面分别具有一相对ㄈ形缺口的夹持件，而夹持件的缺口上、下边缘呈向外扩张的斜缘。

9.根据权利要求8所述的夹持机构，其特征在于：该夹持机构具有一座板，且座板底面设有一驱动件，该驱动件可供驱动一枢设于座板顶面的旋转悬臂转动，而夹持器设于旋转悬臂的自由端。

10.根据权利要求8所述的夹持机构，其特征在于：该夹持件是PEEK材质所制成。