[实用新型]光罩取料装置及其夹持机构

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种取出及移动光罩的取料技术，具体而言是一种可自动化夹取光罩的光罩取料装置及其夹持机构，以提高夹取的便利性，且增进移动作业中的稳定性。

背景技术

在半导体的制程中，是以微影(Photolithography)与蚀刻制程(Etching Process)来完成晶圆表面图案的制作，其中光罩(Mask)为其不可或缺的关键。光罩是一绘有特定图案的透光玻璃片，其中包含一具图形(Pattern)的图案区，供利用一光源，将图案区上的图形转移至晶圆上的光阻，再经过蚀刻制程于晶圆表面完成图案。而光罩为了保护图案区上的图形，图案区的上方通常会设有一图罩护膜(Pellicle)，避免图案区上的图形遭受刮伤、污染或破坏。

由于取用或移动光罩时，需使用光罩夹取器来夹持光罩，然受到近年来半导体制程越趋微细的发展，其图形区通常越来越接近光罩边缘，且再加上光罩的两边具有对准记号及条码，若因光罩夹使用不当，会造成对准记号及条码的刮伤，而导致光罩在曝光机台上作光罩对准的精度或影响光罩的辨认，因此使光罩上可供夹取的空间越来越有限；

现有机械式的光罩夹取器设计成可避开光罩图罩护膜的ㄩ形撑托夹头，于夹取光罩盒内的光罩时，由光罩底部向上撑起与光罩盒的支撑件分离，再将光罩移出光罩盒范围，并移动至工作区(如清洗或检查等)，其夹取时，需要较大的面积，但由于光罩边缘面积越来越小，造成其容易与图罩护膜碰触而造成光罩掉落，特别是当图案区的边缘很接近光罩边缘时，图罩护膜的边缘也会很接近光罩边缘，而使光罩的取放发生问题，例如光罩检查机所使用的现有的光罩夹头可能会碰触图罩护膜，而无法稳固地夹持光罩，甚至将光罩掉落或因夹持力量而损毁。

而在移动过程中，现有光罩夹持器的移转主要由线性动作完成，因此需经X 轴、Y轴、Z轴的滑移，而这些动作主要由导螺杆或气缸的伸缩动作来完成。然其在极限位置或停止时会有顿挫感产生，容易造成光罩在夹头上移位的现象，甚至因而掉落，故其移动速度不能太快，再加上其移动行程为线性距离，需要较多的时间，无形间影响到工作效率。

换言之，现有机械式光罩夹持器所存在的缺点，有必要提出一种可以稳固地夹持光罩的设计，以避免光罩掉落，同时可以缩短其移动距离，提高其夹取光罩的便利性，并可提高其工作效率。

有鉴于此，本实用新型人乃针对前述现有光罩夹取时所面临的问题深入探讨，并凭借本实用新型人多年从事相关开发的经验，而积极寻求解决的道，经不断努力的研究与发展，终于成功的实用新型出一种光罩取料装置及其夹持机构，以克服现有者因夹取面积过大及移动距离长所造成的困扰与不便。

实用新型内容

因此，本实用新型的主要目的是在提供一种可稳固夹取光罩的夹持机构，以能仅需极小的夹取面积即可有效夹取光罩，避免光罩掉落或不当碰撞。

又，本实用新型的次一主要目的是在提供一种易于夹取光罩的光罩取料装置，其能迅速、且稳固的夹取光罩，且可广泛用于各种光罩进出系统中。

再者，本实用新型的另一主要目的是在提供一种移动距离短的光罩取料装置，其能有效维持移动的平稳性，进一步提升作业效率。

为此，本实用新型主要是通过下列的技术手段，来具体实现上述的各项目的与效能，该光罩取料装置至少包含有一开盒机构及一设于开盒机构上的夹持机构，供分别开启一光罩传送盒及取放一置于该光罩传送盒内的光罩，其中光罩传送盒包含有一供支撑光罩的底板及一供覆盖底板形成密闭空间的盖体；

而该开盒机构具有一基板，而基板上设有一可承载光罩传送盒底板上、下位移的移动板，另基板上设有一位于移动板上方的顶板，顶板可供光罩传送盒定位，又顶板上形成有一供底板穿经的通孔；

又夹持机构设于基板上的移动板一侧，其具有一可相对基板上、下位移的座板，且座板底面设有一驱动件，该驱动件可供驱动一枢设于座板顶面的旋转悬臂转动，再者旋转悬臂的自由端设有一夹持器，该夹持器具有两同步相对远离或靠近的夹持头，供同步夹掣或释放光罩的相对两侧边缘。

一种光罩取料装置，其特征在于：该光罩取料装置至少包含有一开盒机构 及一设于开盒机构上的夹持机构，供分别开启一光罩传送盒及取放一置于该光罩传送盒内的光罩，其中光罩传送盒包含有一供支撑光罩的底板及一供覆盖底板形成密闭空间的盖体；

而该开盒机构具有一基板，而基板上设有一能够承载光罩传送盒底板上、下位移的移动板，另基板上设有一位于移动板上方的顶板，顶板可供光罩传送盒定位，又顶板上形成有一供底板穿经的通孔；