[实用新型]一种用于镓扩散载镓源的镓源瓶

权利要求书

1.一种用于镓扩散载镓源的镓源瓶，该镓源瓶内设有石英载源体（5），其特征在于：所述的石英载源体（5）放置在镓源瓶的中间部位，在石英载源体（5）的上沿外侧设有石英载源体侧翼（6），石英载源体侧翼（6）对应设置在石英载源体（5）的左右侧和/或前后侧使得石英载源体（5）能够固定嵌置在镓源瓶内。

2.根据权利要求1所述的用于镓扩散载镓源的镓源瓶，其特征在于：所述的石英载源体（5）对应两侧的石英载源体侧翼（6）的对应边沿之间垂直于镓源瓶轴线的连接线的长度与石英载源体侧翼（6）位置处的镓源瓶的弦长相等，使得石英载源体侧翼（6）能够固定嵌置石英载源体（5）在镓源瓶内。

3.根据权利要求1所述的用于镓扩散载镓源的镓源瓶，其特征在于：所述的石英载源体（5）呈圆柱形、椭圆柱形、正方体形或长方体形中的一种或几种。

4.根据权利要求1所述的用于镓扩散载镓源的镓源瓶，其特征在于：所述镓源瓶的进气口（3）的上方设有进气口上挡板（1），且镓源瓶的出气口（4）下方设有出气口下挡板（2），所述进气口上挡板（1）和出气口下挡板（2）位于镓源瓶的开口截面处的截面积相等。

5.根据权利要求4所述的用于镓扩散载镓源的镓源瓶，其特征在于：所述的进气口上挡板（1）和进气口（3）位于镓源瓶的开口截面处的截面积相等。

6.根据权利要求4所述的用于镓扩散载镓源的镓源瓶，其特征在于：所述的出气口下挡板（2）和出气口（4）位于镓源瓶的开口截面处的截面积相等。

7.根据权利要求4所述的用于镓扩散载镓源的镓源瓶，其特征在于：所述的石英载源体（5）、石英载源体侧翼（6）、进气口上挡板（1）和出气口下挡板（2）以及镓源瓶的本体皆采用石英材料制成。

8.根据权利要求1所述的用于镓扩散载镓源的镓源瓶，其特征在于：所述的镓源瓶设置在石英基座（7）上。