[实用新型]一种硅片划片盘的结构

权利要求书

1. 一种硅片划片盘的结构，包括基板（1），所述基板（1）的一面有多个工位；

其特征在于：

所述基板（1）有可与真空泵管路连接且呈米字形分开布置的第一流道（1-1）、第二流道（1-2）、第三流道（1-3）和第四流道（1-4）；

所述基板（1）的一面有第一工位（2）、第二工位（3）、第三工位（4）、第四工位（5）、第五工位（6）、第六工位（7）、第七工位（8）、第八工位（9）和第九工位（10），且基板（1）一面的九个工位是呈3×3矩阵式排布的；

所述第一工位（2）、第二工位（3）、第三工位（4）、第四工位（5）、第五工位（6）、第六工位（7）、第七工位（8）、第八工位（9）和第九工位（10）各自具有沿径向呈直线布置的若干个沉孔（2-1、3-1、4-1、5-1、6-1、7-1、8-1、9-1、10-1），所述第一工位（2）的若干个沉孔（2-1）和第五工位（6）的若干个沉孔（6-1）分别与第一流道（1-1）相连通，所述第二工位（3）的若干个沉孔（3-1）和第六工位（7）的若干个沉孔（7-1）分别与第二流道（1-2）相连通，所述第三工位（4）的若干个沉孔（4-1）和第七工位（8）的若干个沉孔（8-1）分别与第三流道（1-3）相连通，所述第四工位（5）的若干个沉孔（5-1）、第八工位（9）的若干个沉孔（9-1）分别与第四流道（1-4）相连通；

所述基板（1）的另一面有与第一流道（1-1）、第二流道（1-2）、第三流道（1-3）和第四流道（1-4）以及第九工位（10）中心沉孔（10-1）分别相连通的轴向通孔（11）。

2. 根据权利要求1所述的硅片划片盘的结构，其特征在于：所述第一工位（2）、第二工位（3）、第三工位（4）、第四工位（5）、第五工位（6）、第六工位（7）、第七工位（8）、第八工位（9）和第九工位（10）分别设有若干个沿径向等间距分开布置的圆环形凹槽（2-2、3-2、4-2、5-2、6-2、7-2、8-2、9-2、10-2），且所述的沉孔（2-1、3-1、4-1、5-1、6-1、7-1、8-1、9-1、10-1）分别设在相应的圆环形凹槽（2-2、3-2、4-2、5-2、6-2、7-2、8-2、9-2、10-2）内。

3. 根据权利要求1所述的硅片划片盘的结构，其特征在于：所述基板（1）的另一面还有若干个弧形定位凸台（12），且若干个弧形定位凸台（12）位于轴向通孔（11）的外周且沿同一半径的圆周方向均匀布置。

4. 根据权利要求1所述的硅片划片盘的结构，其特征在于：所述基板（1）另一面有5个轴向通孔（11），且其中1个轴向通孔（11）与第九工位（10）中心沉孔（10-1）相连通且该个轴向通孔（11）位于基板（1）的中心，而剩余四个轴向通孔（11）位于基板（1）中心的轴向通孔（11）的外周且呈圆周方向分开布置。

5. 根据权利要求1所述的硅片划片盘的结构，其特征在于：所述基板（1）呈圆形，或者是多边形。