[实用新型]一种蒸发台的防绕射装置有效
| 申请号： | 201420847687.8 | 申请日： | 2014-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN204385285U | 公开（公告）日： | 2015-06-10 |
| 发明（设计）人： | 刘海洋;付立荣;林闽;许修发;丁兆阳;赵志云;胡靓 | 申请（专利权）人： | 中国振华集团永光电子有限公司（国营第八七三厂） |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/04 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 谷庆红 |
| 地址： | 550018 贵州省*** | 国省代码： | 贵州;52 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 蒸发 防绕射 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种蒸发台的防绕射装置，包括蒸发台组件(1)、隔挡圈(2)、传动轴(3)、顶罩(4)、支架(5)、钟罩(6)和行星工件盘(7)，其特征在于：所述蒸发台组件(1)设置于钟罩(6)内，所述钟罩(6)内还设置有顶罩(4)，所述顶罩(4)的下方设置有支架(5)，所述支架(5)通过传动轴(3)活动安装在钟罩(6)上，所述支架(5)上安装有行星工件盘(7)，所述行星工件盘(7)的下方设置有传动轴(3)，所述隔挡圈(2)固定在钟罩(6)的内壁上。
2.如权利要求1所述的蒸发台的防绕射装置，其特征在于：所述隔挡圈(2)的内径小于行星工件盘(7)下端所在圆周的直径。
3.如权利要求1所述的蒸发台的防绕射装置，其特征在于：所述隔挡圈(2)与行星工件盘(7)下端的距离为0.5cm～1cm。
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