[实用新型]能够防止硅片上浮的硅片筐提手有效

专利信息
申请号: 201420851682.2 申请日: 2014-12-29
公开(公告)号: CN204375780U 公开(公告)日: 2015-06-03
发明(设计)人: 曲蕾;车陆;李军;于雄飞 申请(专利权)人: 吉林华微电子股份有限公司
主分类号: H01L31/18 分类号: H01L31/18
代理公司: 长春菁华专利商标代理事务所 22210 代理人: 陶尊新
地址: 132013*** 国省代码: 吉林;22
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 能够 防止 硅片 上浮 提手
【权利要求书】:

1.一种能够防止硅片上浮的硅片筐提手,采用聚四氟乙烯一次注塑而成,下弯横撑(6)位于提手(3)中上部,并位于U形带(7)内侧,下弯横撑(6)的两端与U形带(7)两侧连接,U形带(7)两侧下部形状与结构相同,均呈展开状,在U形带(7)两侧下部的两端各有一个嵌销(8);所述下弯横撑(6)为刚性件,所述U形带(7)为弹性件;其特征在于,横挡(10)与U形带(7)的横梁(9)平行;横挡(10)的具体方案有两种:一、横挡(10)为一个完整部件,横挡(10)两端穿过U形带(7)两侧下部,并与U形带(7)两侧下部动配合,横挡(10)的两端具有限位盖(11),横挡(10)的长度比U形带(7)两侧下部间距大10~20毫米;二、横挡(10)由左面部分、右面部分构成,左面部分的左端与U形带(7)左侧下部固定连接,右面部分的右端与U形带(7)右侧下部固定连接,左面部分的右端与右面部分的左端以嵌套方式连接。

2.根据权利要求1所述的能够防止硅片上浮的硅片筐提手,其特征在于,横挡(10)呈细长圆形条状,直径为8~15毫米。

3.根据权利要求1所述的能够防止硅片上浮的硅片筐提手,其特征在于,横挡(10)的材质为聚四氟乙烯。

4.根据权利要求1所述的能够防止硅片上浮的硅片筐提手,其特征在于,所述的嵌套方式为横挡(10)左面部分、右面部分的连接部分分为内部分、外部分,外部分为管状,外径为8~15毫米;内部分的外径等于外部分内径;所述横挡(10)左面部分、右面部分的连接部分的长度为10~20毫米。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于吉林华微电子股份有限公司;,未经吉林华微电子股份有限公司;许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201420851682.2/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top