[实用新型]一种研磨台面

权利要求书

1.一种研磨台面，所述研磨台面用于化学机械研磨台中，其特征在于，在所述研磨台面内部有研磨液输送管、研磨液回流管、进水管、排液管和控制模块；在所述研磨台面表面有出液孔和沟槽；所述研磨液输送管、所述进水管、所述排液管与所述控制模块连接，所述控制模块通过连接管与所述研磨台面表面的所述出液孔连接；所述研磨液回流管连接在所述研磨液输送管上且靠近所述控制模块的一端。

2.如权利要求1所述的研磨台面，其特征在于，所述出液孔分布在以所述研磨台面中心为圆心的不同直径的圆周上。

3.如权利要求2所述的研磨台面，其特征在于，在所述研磨台面的中心有一个所述出液孔。

4.如权利要求2所述的研磨台面，其特征在于，不同直径的所述圆周上的所述出液孔的数量相同。

5.如权利要求2所述的研磨台面，其特征在于，所述出液孔在所述圆周上均布。

6.如权利要求1所述的研磨台面，其特征在于，所述出液孔位于所述研磨台面表面上的所述沟槽的底部。

7.如权利要求1所述的研磨台面，其特征在于，所述沟槽在所述研磨台面的表面呈纵横交错的均匀分布。

8.如权利要求7所述的研磨台面，其特征在于，所述出液孔位于所述沟槽的纵横交错点处。

9.如权利要求1所述的研磨台面，其特征在于，所述沟槽以所述研磨台面中心为圆心呈放射状分布。