[实用新型]一种晶圆切割装置有效
| 申请号： | 201420861060.8 | 申请日： | 2014-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN204504515U | 公开（公告）日： | 2015-07-29 |
| 发明（设计）人： | 刘思佳 | 申请（专利权）人： | 苏州凯锝微电子有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/38 | 分类号： | B23K26/38;B23K26/08 |
| 代理公司： | 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 | 代理人： | 董建林 |
| 地址： | 215000 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 切割 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种晶圆切割装置，其特征是，包括传送带、位于所述传送带上方的切割模块；所述切割模块包括定位电缸和位于所述定位电缸上的激光切割器；所述定位电缸包括x轴电缸、y轴电缸和z轴电缸；所述激光切割器位于x轴电缸上。
2.根据权利要求1所述的一种晶圆切割装置，其特征是，所述x轴电缸的一端设置在所述z轴电缸上，所述z轴电缸设置在所述y轴电缸上。
3.根据权利要求2所述的一种晶圆切割装置，其特征是，所述y轴电缸的末端设置有z轴方向的滑轨，所述滑轨用于z轴电缸的垂直滑动。
4.根据权利要求1所述的一种晶圆切割装置，其特征是，还包括来料检测模块；所述来料检测模块包括控制模块和CCD检料模块。
5.根据权利要求4所述的一种晶圆切割装置，其特征是，所述控制模块用于控制传送带的传送速度和切割模块的运作。
6.根据权利要求1所述的一种晶圆切割装置，其特征是，所述y轴电缸的侧面设置有启动按钮和急停开关。
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