[实用新型]产品翘曲矫正装置有效
申请号: | 201420866573.8 | 申请日: | 2014-12-29 |
公开(公告)号: | CN204289408U | 公开(公告)日: | 2015-04-22 |
发明(设计)人: | 林昶 | 申请(专利权)人: | 昆山国显光电有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67 |
代理公司: | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人: | 唐清凯 |
地址: | 215300 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 产品 矫正 装置 | ||
1.一种产品翘曲矫正装置,其特征在于,包括用于承载所述产品的承载部、用于对所述产品进行加热的加热单元、设于所述承载部上方的多个喷嘴,以及分区域对所述多个喷嘴进行控制以调整各区域的喷嘴喷出的气体在所述产品上产生的压力大小的喷嘴控制单元;每个喷嘴均包括用于获取气流的进气嘴及朝向所述承载部的出气嘴。
2.根据权利要求1所述的产品翘曲矫正装置,其特征在于,还包括设于所述承载部上方的顶板框架和设于所述顶板框架上的多个可移动件,每个可移动件上固定连接有一个以上的所述喷嘴,所述喷嘴控制单元包括用于控制每个可移动件相对于所述顶板框架做上下运动从而调整该可移动件上的喷嘴的出气嘴与所述产品的距离的高度控制部。
3.根据权利要求2所述的产品翘曲矫正装置,其特征在于,每个所述可移动件为边长各异的方框状结构,边长大的可移动件套在边长小的可移动件外。
4.根据权利要求3所述的产品翘曲矫正装置,其特征在于,每个所述可移动件为同心的方框状结构。
5.根据权利要求2所述的产品翘曲矫正装置,其特征在于,每个所述可移动件为半径各异的圆环状结构,半径大的可移动件套在半径小的可移动件外,每个所述可移动件为同心的圆环状结构。
6.根据权利要求2所述的产品翘曲矫正装置,其特征在于,还包括气箱和多根气管,每个所述进气口都通过气管与所述气箱相连通。
7.根据权利要求2所述的产品翘曲矫正装置,其特征在于,还包括下顶板,所述下顶板上开有供各个喷嘴穿过的通孔。
8.根据权利要求2所述的产品翘曲矫正装置,其特征在于,所述高度控制部包括多个马达和由马达控制伸缩的马达连接件,所述马达连接件连接于相应的可移动件上。
9.根据权利要求1所述的产品翘曲矫正装置,其特征在于,所述喷嘴控制单元还包括用于调整各区域的喷嘴的气体流量的流量调整部。
10.根据权利要求1所述的产品翘曲矫正装置,其特征在于,所述承载部为导热材质的承载板,所述加热单元用于对所述承载板进行加热。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造