[实用新型]片式集成电路材料退镀单元

权利要求书

1.一种片式集成电路材料退镀单元，其特征在于，包括用于存放退镀液的退镀槽（1）、设置在所述退镀槽（1）上的至少一个退镀通道（3）、以及设置所述退镀通道（3）上的至少一个退镀机构（2）；

所述退镀机构（2）包括在所述退镀通道（3）长度方向上间隔设置的若干个传送辊组件（21）、用于将片料与电源阳极电连接的第一导电件（221）和用于将退镀液与电源阴极电连接的第二导电件（222）； 每一所述传送辊组件（21）包括可反向转动以传送片料的上传送辊（211）和下传送辊（212）。

2.根据权利要求1所述的片式集成电路材料退镀单元，其特征在于，所述上传送辊（211）包括上传送轴（213）以及套设在所述上传送轴（213）的用于与所述片料抵接的导电弹簧（2111），所述导电弹簧（2111）与所述第一导电件（221）电连接。

3.根据权利要求2所述的片式集成电路材料退镀单元，其特征在于，所述上传送辊（211）还包括间隔固定在所述上传送轴（213）的两个端盖（2112），所述导电弹簧（2111）的末端分别与所述两个端盖（2112）相连。

4.根据权利要求3所述的片式集成电路材料退镀单元，其特征在于，所述至少两个端盖（2112）中至少一个为导电端盖（2112），所述第一导电件（221）与所述导电端盖（2112）相连。

5.根据权利要求2所述的片式集成电路材料退镀单元，其特征在于，所述导电弹簧（2111）的内径大于所述上传送轴（213）的外径。

6.根据权利要求2所述的片式集成电路材料退镀单元，其特征在于，所述退镀通道（3）包括至少两个，位于至少两个退镀通道（3）对应位置的所述上传送轴（213）同轴，位于至少两个退镀通道（3）对应位置的至少两个所述下传送辊（212）共用下传送轴（214）。

7.根据权利要求6所述的片式集成电路材料退镀单元，其特征在于，还包括用于驱动所述传送辊组件（21）工作的驱动组件（23），所述驱动组件（23）包括套设在所述上传送轴（213）上的第一齿轮（231）、套设在所述下传送轴（214）上的与所述第一齿轮（231）啮合的第二齿轮（232）、以及用于驱动所述第二齿轮（232）转动的第二驱动单元（233）。

8.根据权利要求6所述的片式集成电路材料退镀单元，其特征在于，还包括间隔设置在两个所述下传送辊（212）之间并与所述下传送辊（212）平行的第一传送辊（215），位于至少两个退镀通道（3）对应位置的至少两个第一传送辊（215）共用第一传送轴（216）。

9.根据权利要求8所述的片式集成电路材料退镀单元，其特征在于，所述至少两排通液孔（311）间隔设置在所述下传送辊（212）与所述第一传送辊（215）之间。

10.根据权利要求1-9任一项所述的片式集成电路材料退镀单元，其特征在于，所述退镀通道（3）包括设置在所述退镀槽（1）上方的挡板（31）和第一驱动单元；所述挡板（31）沿长度方向上间隔设置至少两排通液孔（311），所述第一驱动单元用于驱使所述退镀液从所述通液孔（311）流出并与片料接触。