[发明专利]电扫描器以及激光加工装置

权利要求书

1.一种电扫描器，其特征在于，具有：

旋转体，其具有旋转轴，并能够以所述旋转轴为中心进行旋转；

反射镜，其与所述旋转轴中的前侧的一端连结，使入射的光偏转；

框架壳体，其具有使所述旋转体旋转的内部空间；

前侧轴承，其设置在所述内部空间中的前侧的端部，是能够旋转地支撑所述旋转轴的轴承；以及

振动抑制构造，其抑制由所述旋转轴的驱动引起的所述前侧轴承的振动，

所述振动抑制构造具有与所述前侧轴承的外周侧面抵接的抵接部件，

所述抵接部件随着与所述旋转轴平行的轴向上的所述前侧轴承的位移而处于可动。

2.根据权利要求1所述的电扫描器，其特征在于，

在所述框架壳体中形成通孔，该通孔将所述框架壳体的外周面与所述内部空间之间贯穿，

所述振动抑制构造配置在所述通孔中。

3.根据权利要求1所述的电扫描器，其特征在于，

所述抵接部件是球形部件，该球形部件与所述轴向上的所述前侧轴承的位移联动而进行旋转。

4.根据权利要求1所述的电扫描器，其特征在于，

所述抵接部件是圆盘部件，该圆盘部件与所述轴向上的所述前侧轴承的位移联动而进行旋转。

5.根据权利要求3或4所述的电扫描器，其特征在于，

所述振动抑制构造具有弹性部件，该弹性部件对所述抵接部件施加向所述前侧轴承的方向推起的力。

6.根据权利要求1所述的电扫描器，其特征在于，

所述抵接部件是弹性部件，其向所述前侧轴承施加推起所述前侧轴承的力，

所述弹性部件与所述轴向上的所述前侧轴承的位移联动而进行变形。

7.根据权利要求6所述的电扫描器，其特征在于，

所述振动抑制构造具有定位部件，该定位部件在所述弹性部件中的与所述前侧轴承抵接侧的相反一侧，使所述弹性部件的位置固定。

8.根据权利要求2所述的电扫描器，其特征在于，

所述振动抑制构造螺入至所述通孔中。

9.一种激光加工装置，其特征在于，具有：

激光光源；以及

电扫描器，其使来自所述激光光源的激光在加工对象物上进行扫描，

所述电扫描器具有：

旋转体，其具有旋转轴，并能够以所述旋转轴为中心进行旋转；

反射镜，其与所述旋转轴中的前侧的一端连结，使入射的光偏转；

框架壳体，其具有使所述旋转体旋转的内部空间；

前侧轴承，其设置在所述内部空间中的前侧的端部，是能够旋转地支撑所述旋转轴的轴承；以及

振动抑制构造，其抑制由所述旋转轴的驱动引起的所述前侧轴承的振动，

所述振动抑制构造具有与所述前侧轴承的外周侧面抵接的抵接部件，

所述抵接部件随着与所述旋转轴平行的轴向上的所述前侧轴承的位移而处于可动。