[发明专利]电扫描器以及激光加工装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种电扫描器以及激光加工装置。

背景技术

具有电扫描器的激光加工装置，例如利用在印刷配线基板、精密电子部件的开孔加工中。随着成为产品的电子电路、电子部件的精细化的发展，要求激光加工装置对加工位置进行高精度的控制。

电扫描器在以相同间距重复加工位置的移动的情况下，当加工位置的移动频率与旋转体的固有振动数一致时，有时会向与反射镜的表面垂直的方向产生振动(面倾斜共振)。由于产生面倾斜共振，来自反射镜的激光的行进方向变化，因此，在加工对象物上的激光的位置处产生误差。

例如，在专利文献1中公开了下述技术，即，对于在轴和轴箱之间组装有圆柱滚子轴承的轴支撑装置，在轴承的外轮与轴箱之间设置吸收振动的部件。

专利文献1：日本特开2008-138779号公报

发明内容

电扫描器的旋转体有时受到由驱动引起的温度上升而发生热膨胀。为了能够吸收轴向上的旋转体的尺寸变化，设置在电扫描器中的轴承以相对于收容旋转体的框架壳体隔开少量间隙的方式配置。要求电扫描器能够吸收由旋转体的热膨胀引起的尺寸变化，并且能够减小使加工位置的精度恶化的振动。

近几年，为了实现高速驱动，在电扫描器中存在旋转体的驱动力变大的倾向。在电扫描器中，由于驱动力增大，不需要的振动的振幅也易于变大。电扫描器难以进行轴承周边的间隙的公差管理，以使得能够针对驱动力的增大而充分减小不需要的振动。

本发明就是鉴于上述情况而提出的，其目的在于得到一种能够减小面倾斜共振，能够实现较高的位置精度的电扫描器以及激光加工装置。

为了解决上述课题并实现目的，本发明的特征在于，具有：旋转体，其具有旋转轴，并能够以所述旋转轴为中心进行旋转；反射镜，其与所述旋转轴中的前侧的一端连结，使入射的光偏转；框架壳体，其具有使所述旋转体旋转的内部空间；前侧轴承，其设置在所述内部空间中的前侧的端部，是能够旋转地支撑所述旋转轴的轴承；以及振动抑制构造，其抑制由所述旋转轴的驱动引起的所述前侧轴承的振动，所述振动抑制构造具有与所述前侧轴承的外周侧面抵接的抵接部件，所述抵接部件随着与所述旋转轴平行的轴向上的所述前侧轴承的位移而处于可动。

发明的效果

本发明所涉及的电扫描器，通过使振动抑制构造的抵接部件与前侧轴承的外周侧面抵接，从而减小难以调整的面倾斜共振。电扫描器能够通过使抵接部件随着轴向上的前侧轴承的位移处于可动，从而吸收由旋转体的热膨胀引起的尺寸变化，并且，即使旋转体的尺寸发生变化，也能够维持抵接部件向前侧轴承的抵接。由此，电扫描器具有下述效果，即，能够减小面倾斜共振，能够实现较高的位置精度。

附图说明

图1是表示本发明的实施方式1所涉及的电扫描器的剖面结构的图。

图2是表示球塞的剖面结构的图。

图3是对第1面倾斜共振的产生进行说明的图。

图4是表示第1面倾斜共振的频率与振幅之间的关系的例子的图。

图5是对第2面倾斜共振的产生进行说明的图。

图6是表示第2面倾斜共振的频率与振幅之间的关系的例子的图。

图7是对在产生第1面倾斜共振和第2面倾斜共振的情况下的共振的频率与振幅之间的关系进行说明的图。

图8是表示本发明的实施方式2所涉及的电扫描器的剖面结构的图。

图9是表示滚轮柱塞的剖面结构的图。

图10是表示本发明的实施方式3所涉及的电扫描器的剖面结构的图。

图11是将弹簧构造体分解表示的侧视图。

图12是表示本发明的实施方式4所涉及的激光加工装置的结构的图。

具体实施方式

下面，基于附图，对本发明所涉及的电扫描器以及激光加工装置的实施方式进行详细说明。此外，本发明并不限定于这些实施方式。

实施方式1.

图1是表示本发明的实施方式1所涉及的电扫描器的剖面结构的图。电扫描器1使来自激光光源的激光在加工对象物上进行扫描。电扫描器1由旋转体以及固定体构成。

旋转体具有扫描反射镜2、旋转轴3、以及磁体5。旋转体能够以旋转轴3为中心旋转。扫描反射镜2是使入射的光偏转的反射镜。扫描反射镜2与旋转轴3中的前侧的一端连结。反射镜安装件12将扫描反射镜2与旋转轴3连结。安装件按压工具13在插入有紧固件14的状态下，将反射镜安装件12固定在旋转轴3上。磁体5位于前侧轴承8以及后侧轴承9之间。