[发明专利]固化物膜的制造方法、电子部件的制造方法及电子部件

权利要求书

1.一种固化物膜的制造方法，其具备：

涂布工序，其使用喷墨装置涂布具有光固化性及热固化性且为液态的固化性组合物；

第1光照射工序，其在所述涂布工序后，由第1光照射部对所述固化性组合物照射光，使所述固化性组合物进行固化，形成预固化物膜；

加热工序，其在所述第1光照射工序后，对经过光照射的所述预固化物膜进行加热，使经过光照射的所述预固化物膜发生固化，形成固化物膜；

所述喷墨装置具有：

油墨罐，其贮存所述固化性组合物；

喷出部，其与所述油墨罐连接且喷出所述固化性组合物；

循环流路部，其一端与所述喷出部连接，另一端与所述油墨罐连接且所述固化性组合物在其内部流动，

所述循环流路部包含在所述循环流路部内临时贮存所述固化性组合物的缓冲罐，

在所述涂布工序中，使所述固化性组合物在所述喷墨装置内从所述油墨罐转移至所述喷出部，然后，使未从所述喷出部喷出的所述固化性组合物在所述循环流路部内流动而转移至所述油墨罐，由此，一边循环所述固化性组合物，一边涂布所述固化性组合物。

2.如权利要求1所述的固化物膜的制造方法，其还具备在所述第1光照射工序后且在所述加热工序前的第2光照射工序，所述第2光照射工序包括：由不同于所述第1光照射部的第2光照射部对经过所述第1光照射部照射光的所述预固化物膜照射光，使所述预固化物膜进行进一步固化。

3.如权利要求1所述的固化物膜的制造方法，其还具备在所述第1光照射工序后且在所述加热工序前的多层化工序，所述多层化工序包括：在所述第1光照射工序后的所述预固化物膜上进行所述涂布工序和所述第1光照射工序，在所述预固化物膜上形成其它预固化物膜，由此形成多层的预固化物膜。

4.如权利要求3所述的固化物膜的制造方法，其还具备在所述多层化工序后且在所述加热工序前的第2光照射工序，所述第2光照射工序包括：由不同于所述第1光照射部的第2光照射部对所述多层的预固化物膜照射光，使所述多层的预固化物膜进行进一步固化。

5.如权利要求1～4中任一项所述的固化物膜的制造方法，其中，

在所述第1光照射工序后的所述预固化物膜上或所述预固化物膜之间进行所述涂布工序和所述第1光照射工序。

6.如权利要求1～4中任一项所述的固化物膜的制造方法，其中，

循环中的所述固化性组合物的温度为40℃以上、且100℃以下。

7.如权利要求1～4中任一项所述的固化物膜的制造方法，其中，

所述喷墨装置使用压电方式的喷墨头，

在所述涂布工序中，通过压电元件的作用来涂布所述固化性组合物。

8.如权利要求1～4中任一项所述的固化物膜的制造方法，其中，

所述固化性组合物喷出时的粘度为3mPa·s以上、且1500mPa·s以下。

9.如权利要求1～4中任一项所述的固化物膜的制造方法，其中，

所述固化性组合物包含光固化性化合物、热固化性化合物、光聚合引发剂、和热固化剂。

10.如权利要求9所述的固化物膜的制造方法，其中，

所述固化性组合物包含所述光固化性化合物、光及热固化性化合物、所述热固化性化合物、所述光聚合引发剂、和所述热固化剂。

11.如权利要求10所述的固化物膜的制造方法，其中，

所述光固化性化合物具有(甲基)丙烯酰基，

所述光及热固化性化合物具有(甲基)丙烯酰基和环状醚基，

所述热固化性化合物具有环状醚基。

12.如权利要求9所述的固化物膜的制造方法，其中，

所述固化性组合物含有具有1个(甲基)丙烯酰基的单官能化合物和具有2个以上(甲基)丙烯酰基的多官能化合物作为所述光固化性化合物。