[发明专利]稀释剂组合物及其用途有效
| 申请号： | 201480007310.4 | 申请日： | 2014-01-24 |
| 公开（公告）号： | CN104969129B | 公开（公告）日： | 2020-01-17 |
| 发明（设计）人： | 权五焕;尹锡壹;郑宗铉;金炳郁;赵泰杓;辛成健 | 申请（专利权）人： | 东进世美肯株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/42 | 分类号： | G03F7/42;G03F7/32;H01L21/027;G03F7/09 |
| 代理公司： | 11399 北京冠和权律师事务所 | 代理人： | 朱健;陈国军 |
| 地址： | 韩国仁*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 稀释剂 组合 及其 用途 | ||
【权利要求书】：
1.一种稀释剂组合物，由以下组分组成：
40至80wt％的1-甲氧基-2-丙醇醋酸酯；以及
20至60wt％的乙二醇丙基醚。
2.如权利要求1所述的稀释剂组合物，其中该乙二醇丙基醚包括乙二醇单丙醚、乙二醇异丙醚或这些的混合物。
3.一种感光膜的形成方法，包含有下列步骤：
将权利要求1之稀释剂组合物涂布于半导体基板上以预润湿该基板；以及
将光阻剂涂布于该预润湿的基板上。
4.一种感光膜的形成方法，包含有下列步骤：
将光阻剂涂布于半导体基板上；以及
将权利要求1之稀释剂组合物施用于该基板上，以从该基板移除至少一部分的光阻剂。
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