[发明专利]泵送系统

权利要求书

1.一种真空泵送系统，其包括用于抽空包围空间的多个真空泵送装置和用于由至少一个第一真空泵送装置来抽空的辅助真空室，所述真空泵送系统具有用于抽空所述包围空间的第一状态和用于节省由所述系统消耗的功率的第二状态，其中在所述第二状态的第一阶段中，所述至少一个第一真空泵送装置布置成抽空至少一个第二真空泵送装置的排气口，并且在第二阶段中，所述至少一个第一泵送装置的所述排气口布置成由所述辅助真空室抽空。

2. 根据权利要求1所述的真空泵送系统，其中，所述多个真空泵送装置包括单个第一真空泵送装置和多个第二真空泵送装置，并且在所述第一阶段中，所述第一真空泵送装置布置成抽空所述第二真空泵送装置的所述排气口，并且在所述第二阶段中，所述第一真空泵送装置的所述排气口布置成由所述辅助真空室抽空。

3. 根据权利要求1或2所述的真空泵送系统，其中，所述真空泵送装置各自包括排气级和至少一个较低压力级，并且所述第二真空泵送装置的所述排气口布置成由所述或各个第一真空泵送装置的所述至少一个较低压力级来抽空。

4. 根据权利要求3所述的真空泵送系统，其中，所述或各个第一真空泵送装置的所述至少一个较低压力级由第一流动路径连接到所述辅助真空室上，包括流限制物，以用于限制从所述辅助真空室沿所述第一流动路径到所述至少一个较低压力级的流动。

5. 根据权利要求3或4所述的真空泵送系统，其中，所述或各个第一真空泵送装置的所述至少一个较低压力级由第二流动路径连接到所述第二真空泵送装置的所述排气口上，并且所述第二流动路径包括阀组件，用于在所述第二状态的所述第一阶段中允许从所述排气口至所述第一真空泵送装置的所述至少一个较低压力级的流动，并且在所述第二阶段中抵抗流动。

6. 根据权利要求3至5中任一项所述的真空泵送系统，其中，所述或各个第一真空泵送装置的所述排气口由第三流动路径连接到所述辅助真空室上，并且所述第三流动路径包括阀组件，以用于在所述第二状态的所述第二阶段中允许气体的流动，并且在所述第一状态中抵抗流动。

7. 一种真空泵送系统，包括用于抽空包围空间的多个真空泵送装置，所述真空泵送系统具有用于抽空所述包围空间的第一状态和用于节省由所述系统消耗的功率的第二状态，其中在所述第二状态的第一阶段中，至少一个第一真空泵送装置布置成抽空至少一个第二真空泵送装置的排气口，并且在第二阶段中，所述至少一个第一泵送装置的所述排气口布置成由所述至少一个第二泵送装置的所述排气口抽空。

8. 根据权利要求7所述的真空泵送系统，其中，所述多个真空泵送装置包括单个第一真空泵送装置和多个第二真空泵送装置，并且在所述第一阶段中，所述第一真空泵送装置布置成抽空所述第二真空泵送装置的所述排气口，并且在所述第二阶段中，所述第一真空泵送装置的所述排气口布置成由所述第二真空泵送装置的所述排气口抽空。

9. 根据权利要求7或8所述的真空泵送系统，其中，所述真空泵送装置各自包括排气级和至少一个较低压力级，并且所述第二真空泵送装置的所述排气口由所述或各个第一真空泵送装置的所述至少一个较低压力级抽空。

10. 根据权利要求9所述的真空泵送系统，其中，所述或各个第一真空泵送装置的所述至少一个较低压力级由第一流动路径连接到所述第二真空泵送装置的所述排气口上，并且所述第二泵送装置的所述排气口由第二流动路径连接到所述或各个第一真空泵送装置的所述排气口上。

11. 根据权利要求10所述的真空泵送系统，其中，所述第一流动路径包括第一阀组件，用于在所述第一阶段中允许沿所述第一流动路径的气体流动，并且在所述第二阶段中抵抗气体流动。

12. 根据权利要求10或11所述的真空泵送系统，其中，所述第二流动路径包括第二阀组件，用于在所述第二阶段中允许沿所述第二流动路径的气体流动，并且在所述第一阶段中抵抗气体流动。

13. 根据前述权利要求中任一项所述的真空泵送系统，其中，所述第二状态大致在所述包围空间的目标压力下实施。

14. 根据前述权利要求中任一项所述的真空泵送系统，其中，所述真空泵送装置各自包括串联连接的多级干式泵和上游增压泵。

15. 根据前述权利要求中任一项所述的真空泵送系统，其中，所述真空泵送装置构造成彼此并联，以用于抽空所述包围空间。