[发明专利]热辅助磁头检查装置以及热辅助磁头检查方法

权利要求书

1.一种热辅助磁头检查装置，其检查热辅助磁头产生的磁场和近场光，其特征在于，具备：

XY工作台，载置上述热辅助磁头并将其在二维方向上进行扫描；

悬臂，在前端具有磁性探针并通过预定频率被激励；

Z工作台，将上述悬臂保持在距离上述热辅助磁头的表面的预定高度；

磁头磁场检测系统，根据上述悬臂的位移量测定上述热辅助磁头产生的磁场；

近场光检测系统，根据在上述悬臂位置产生的散射光测定上述热辅助磁头产生的近场光；

光学系统工作台，搭载上述近场光检测系统并使其在二维方向上移动；

图像显示部，通过照相机拍摄上述悬臂和上述热辅助磁头的位置关系来进行显示；以及

控制部，控制上述XY工作台和上述光学系统工作台，以使上述热辅助磁头和上述悬臂以及上述近场光检测系统成为预定的位置关系，

在更换了上述悬臂时，上述控制部参照上述图像显示部计算上述悬臂的更换造成的位置偏离量，使上述光学系统工作台移动计算出的位置偏离量。

2.一种热辅助磁头检查方法，其检查热辅助磁头产生的磁场和近场光，其特征在于，具备：

通过预定频率激励在前端具有磁性探针的悬臂的步骤；

通过XY工作台载置上述热辅助磁头并将其在二维方向上进行扫描的步骤；

通过Z工作台将上述悬臂保持在距离上述热辅助磁头的表面的预定高度的步骤；

通过磁头磁场检测系统，根据上述悬臂的位移量测定上述热辅助磁头产生的磁场的步骤；

通过近场光检测系统，根据在上述悬臂位置产生的散射光测定上述热辅助磁头产生的近场光的步骤；

通过光学系统工作台搭载上述近场光检测系统并使其在二维方向上移动的步骤；

通过照相机拍摄上述悬臂和上述热辅助磁头的位置关系来在图像显示部进行显示的步骤；以及

控制上述XY工作台和上述光学系统工作台，以使上述热辅助磁头和上述悬臂以及上述近场光检测系统成为预定的位置关系的步骤，

在更换了上述悬臂时，参照上述图像显示部计算上述悬臂的更换造成的位置偏离量，使上述光学系统工作台移动计算出的位置偏离量。

3.根据权利要求2所述的热辅助磁头检查方法，其特征在于，

在更换了上述悬臂时，为了调整上述热辅助磁头的位置而使上述XY工作台移动，使上述光学系统工作台移动该移动量。

4.一种热辅助磁头检查装置，其检查热辅助磁头产生的磁场和近场光，其特征在于，具备：

XY工作台，载置热辅助磁头并将其在二维方向上进行扫描；

悬臂，在前端具有磁性探针并通过预定频率被激励；

Z工作台，将上述悬臂保持在距离上述热辅助磁头的表面的预定高度；

磁头磁场检测系统，根据上述悬臂的位移量测定上述热辅助磁头产生的磁场；

近场光检测系统，通过上述悬臂使上述热辅助磁头产生的近场光成为散射光，经由针孔对其进行测定；

光学系统工作台，搭载上述近场光检测系统使其在三维方向上移动；

第一照相机，拍摄上述悬臂和上述热辅助磁头的XY方向的位置关系；

第二照相机，拍摄上述针孔和上述热辅助磁头的YZ方向的位置关系；

图像显示部，显示上述第一照相机和上述第二照相机的图像；以及

控制部，控制上述XY工作台和上述光学系统工作台，以使上述热辅助磁头和上述悬臂以及上述近场光检测系统成为预定的位置关系，

在更换了上述悬臂时，上述控制部参照在上述图像显示部显示的上述第一照相机的图像计算上述悬臂的更换造成的XY方向的位置偏离量，使上述光学系统工作台在XY方向上移动计算出的位置偏离量，

并且，在更换了上述热辅助磁头时，上述控制部参照在上述图像显示部显示的上述第二照相机的图像计算上述热辅助磁头的更换造成的Z方向的位置偏离量，使上述光学系统工作台在Z方向上移动计算出的位置偏离量。

5.一种热辅助磁头检查方法，其检查热辅助磁头产生的磁场和近场光，其特征在于，具备：

通过预定频率激励在前端具有磁性探针的悬臂的步骤；

通过XY工作台载置上述热辅助磁头并将其在二维方向上进行扫描的步骤；

通过Z工作台将上述悬臂保持在距离上述热辅助磁头的表面的预定高度的步骤；

通过磁头磁场检测系统，根据上述悬臂的位移量测定上述热辅助磁头产生的磁场的步骤；

通过近场光检测系统，根据在上述悬臂位置产生的散射光测定上述热辅助磁头产生的近场光的步骤；

通过光学系统工作台搭载上述近场光检测系统并使其在三维方向上移动的步骤；

通过第一照相机和第二照相机分别拍摄上述悬臂与上述热辅助磁头的XY方向的位置关系以及上述悬臂与上述热辅助磁头的YZ方向的位置关系来在图像显示部进行显示的步骤；以及

控制上述XY工作台和上述光学系统工作台，以使上述热辅助磁头和上述悬臂以及上述近场光检测系统成为预定的位置关系的步骤，

在更换了上述悬臂时，上述控制部参照在上述图像显示部显示的上述第一照相机的图像计算上述悬臂的更换造成的XY方向的位置偏离量，使上述光学系统工作台在XY方向上移动计算出的位置偏离量，

并且，在更换了上述热辅助磁头时，上述控制部参照在上述图像显示部显示的上述第二照相机的图像计算上述热辅助磁头的更换造成的Z方向的位置偏离量，使上述光学系统工作台在Z方向上移动计算出的位置偏离量。