[发明专利]用于待处理的平坦材料的湿式化学处理的装置和方法有效

专利信息
申请号: 201480018030.3 申请日: 2014-04-10
公开(公告)号: CN105075406B 公开(公告)日: 2018-02-09
发明(设计)人: 亨利·库兹 申请(专利权)人: 德国艾托特克公司
主分类号: H05K3/00 分类号: H05K3/00
代理公司: 北京律盟知识产权代理有限责任公司11287 代理人: 林斯凯
地址: 德国*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 用于 处理 平坦 材料 化学 装置 方法
【权利要求书】:

1.一种用于水平通过系统的待处理平坦材料的湿式化学处理的装置,其包括

第一处理模块,其使用第一液体处理所述待处理材料,

第二处理模块,其使用第二液体处理所述待处理材料,

至少一个其它冲洗模块,其使用冲洗液体处理所述待处理材料;

贮存构件,其经设计以将所述第一液体贮存在所述第一处理模块的第一处理区中,将所述第二液体贮存在所述第二处理模块的第二处理区中并且将所述冲洗液体贮存在所述至少一个其它冲洗模块的至少一个其它处理区中的达到至少远到传输平面的位准,分割布置,其在所述分割布置的至少一侧上限定用于通过所述待处理材料的空隙且提供于邻近冲洗模块之间,和传输布置,其用于在水平传输平面上将所述待处理材料传输通过所述第一处理区和所述第二处理区,

其中所述装置经设计以使得所述传输布置直接在所述第一处理区与所述第二处理区之间转移所述待处理材料,并且其中所述装置经设计以直接在所述第二处理区与所述至少一个其它处理区之间转移所述待处理材料,并且其中所述装置经设计以在由所述分割布置限定的所述空隙中设定与所述待处理材料的传输方向相反地引导的所述冲洗液体的流。

2.根据权利要求1所述的装置,

其中所述贮存构件经设计以在所述第一处理区的整个长度上贮存所述第一液体并且在所述第二处理区中的达到至少远到传输平面的位准的整个长度上贮存所述第二液体。

3.根据权利要求1或2所述的装置,其包括

至少一个分割元件,其在所述第一处理区与所述第二处理区之间横向于所述待处理材料的传输方向延伸,

其中所述贮存构件经设计以贮存所述第一液体和所述第二液体,以使得在所述至少一个分割元件处,所述第一液体直接等待于所述至少一个分割元件的一侧上,并且使所述第二液体直接等待于所述至少一个分割元件的相对侧上。

4.根据权利要求3所述的装置,

其中所述至少一个分割元件在所述分割布置的至少一侧上限定用于通过所述待处理材料的水平延伸空隙,并且其中所述装置经设计以防止所述第一液体流和所述第二液体流通过所述空隙。

5.根据权利要求1或2所述的装置,

其中所述贮存构件经设计以下列方式贮存所述第一液体、所述第二液体和所述冲洗液体:通过所述传输布置传输的待处理材料在被传输通过所述第一处理模块、所述第二处理模块和所述至少一个其它冲洗模块时,在所述待处理材料的整个长度上始终经所述第一液体、所述第二液体或所述冲洗液体中的至少一者覆盖。

6.根据权利要求1或2所述的装置,

其中所述贮存构件经设计以下列方式将所述第一或第二液体贮存在所述第一或第二处理区中的至少一者中:所述处理区具有两个在传输方向上邻近并且具有不同液位的部分。

7.一种在水平通过系统中用于待处理平坦材料的湿式化学处理的方法,

其中所述待处理材料是在第一处理模块中使用第一液体处理,并且在第二处理模块中使用第二液体,并且在水平传输平面上传输通过所述第一处理模块和所述第二处理模块,其中使用冲洗液体在至少一个其它冲洗模块中处理所述待处理材料,

其中所述待处理材料是直接在所述第一处理模块的其中贮存所述第一液体的第一处理区与所述第二处理模块的其中贮存所述第二液体的第二处理区之间转移,并且其中所述待处理材料是直接在第二处理区与所述至少一个其它冲洗模块的其中贮存所述冲洗液体的至少一个其它处理区之间传输,并且

其中使所述待处理材料通过于两个冲洗模块之间提供的分割布置在至少一侧上限定的空隙,其中在所述空隙中设定与所述待处理材料的传输方向相反地引导的所述冲洗液体的流。

8.根据权利要求7所述的方法,

其中在所述第一处理区与所述第二处理区之间提供至少一个分割元件,其横向于所述待处理材料的传输方向延伸,

其中所述第一液体在所述至少一个分割元件处直接等待于所述至少一个分割元件的一侧上,并且所述第二液体在所述至少一个分割元件处直接等待于所述至少一个分割元件的相对侧上。

9.根据权利要求8所述的方法,

其中所述至少一个分割元件在所述分割布置的至少一侧上限定用于通过所述待处理材料的水平延伸空隙,并且其中贮存所述第一液体和所述第二液体以使得在所述空隙处,所述第一液体的流体静压力与所述第二液体的流体静压力之间的差小于预定阈值。

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