[发明专利]用于待处理的平坦材料的湿式化学处理的装置和方法

说明书

本发明涉及用于待处理的平坦材料的湿式化学处理的装置和方法。具体来说，本发明涉及此类型的装置和此类型的方法，其中待处理材料是在水平通过系统中传输并且依序用不同液体进行处理。

在处理待处理的平坦材料(例如用于电路板工业中的衬底，例如电路板或诸如此类)时，通常在湿式化学工艺线中处理待处理材料。在其中使用不同工艺化学品处理待处理材料的多阶段工艺中，通常需要防止第一工艺化学品(其用于在第一作用模块中处理待处理材料)遗留到第二作用模块(其中使用第二工艺化学品处理待处理材料)中，以使第二作用模块的处理液体中的干扰性引入物保持低浓度。

为使遗留物保持较低，可在处理模块之间提供冲洗阶段。为节省水同时观察到所需冲洗标准，可提供例如由多个冲洗阶段组成的冲洗级联。DE 44 18 277 A1描述在浸渍浴系统中纯化待处理材料的方法，在所述浸渍浴系统中将所述材料依序浸渍于冲洗级联的不同冲洗浴中。

为避免工艺化学品遗留在通过系统中，可在两个使用不同工艺化学品处理待处理材料的作用模块之间提供冲洗模块或冲洗级联。

图5是用于水平通过系统的常规冲洗级联124的示意性图解说明，其中待处理材料是在水平传输方向9上传输。在传输工艺期间，待处理材料在水平传输平面10上移动。冲洗级联124具有多个冲洗模块125、126和127。冲洗模块125包括处理区131，其用于冲洗待处理材料；集水区132，冲洗液体从此处移除并且进给到处理区131；和多个称为压液辊141-146者，其成对布置并且从待处理材料移除工艺或冲洗液体。在常规冲洗模块中还可使用放气布置或诸如此类来替代压液辊。在处理区131中提供分布元件134，通过泵133向所述元件进给来自集水区132的冲洗液体，并且所述元件使待处理材料经历冲洗液体的入射流。间隙壁136和138在传输方向上限定处理区131，所述壁各自分别具有一对压液辊143、144。在由收集槽的壁136、138和基底139形成的处理区131中，可将冲洗液体贮存到位准135。

冲洗模块126与127构造相似。冲洗模块126具有处理区151和压液辊152、153。冲洗模块127具有处理区154和压液辊155、156。

在水坑中，介于冲洗模块125、126与127之间的分割壁经设计以使得在集水区中产生在传输方向上递增的冲洗液体的位准级联。为此，在处理模块之间的集水区中提供溢流堰，所述溢流堰的高度在传输方向上递增。在第一冲洗模块125的集水区132中设定的冲洗液位161低于在第二冲洗模块126的集水区中设定的冲洗液位162。在第二冲洗模块126的集水区中设定的冲洗液位162进而低于在第三冲洗模块127的集水区中设定的冲洗液位163。将含有低浓度杂质的冲洗液体流166进给到布置在传输方向最末端的冲洗模块127。具有最高浓度的杂质的冲洗液体流167从第一冲洗模块125转向。集水区中的位准的级联产生从第三冲洗模块127到第二冲洗模块126中的冲洗液体流165和从第二冲洗模块126到第一冲洗模块125中的冲洗液体流164，以使得在冲洗模块125-127中相继使用具有递减浓度的杂质的冲洗液体处理待处理材料。

而压液辊141-146、152、153、155和156一方面有助于实现预定冲洗标准(例如1:1,000或1:10,000的稀释)，其另一方面产生相对较大的常规冲洗级联124的全长。

由于压液辊并不将液体完全挡在物品的顶面上，故可在两对辊之间产生流体流并且其可以使柔性衬底不再可靠地通过后一对辊之间的方式使所述衬底从传输平面偏转，从而使得存在柔性衬底被压缩和/或损坏的风险。

US 5,179,967揭示现有技术中用于冲洗金属条带的此一常规设备。所述设备包括至少两个邻近冲洗罐，每一冲洗罐具有入口端、出口端、底部和侧面，所述底部具有向上朝向所述入口端和出口端中的每一者倾斜的上表面以界定所述入口端和出口端中的每一者处的相应堰，所述底部进一步具有用于将冲洗流体排放于所述上表面上的冲洗流体端口；冲洗流体供应构件，其用于将冲洗流体供应到所述冲洗流体端口；和控制构件，其位于所述两个邻近罐之间且用于控制和维持所述冲洗流体的位准高于每一罐内和所述邻近罐之间的所述条带，从而所述条带浸渍于每一罐中和所述邻近罐之间。