[发明专利]带电粒子束装置以及使用该装置的试样制作方法

权利要求书

1.一种试样制作方法，其使用带电粒子束装置制作试样，该带电粒子束装置具备：具有冷却机构的微型探针、具备将试样保持为冷却的状态的机构的第一试样保持器、能够导入上述微型探针和上述第一试样保持器的工作台，该试样制作方法的特征在于，具备：

从保持冷却的上述第一试样保持器上的试样切出块状的试样片的步骤；

使该试样片与被冷却为一定温度的微型探针的前端粘连，并在上述带电粒子束装置的真空室内将该试样片转移到与上述第一试样保持器不同的保持冷却的薄膜观察用的第二试样保持器的步骤；

在从上述微型探针切离了被转移到上述第二试样保持器的该试样片后，将该试样片薄膜加工为比切出时的厚度薄的厚度的步骤；以及

观察薄膜加工后的该试样片的步骤。

2.根据权利要求1所述的试样制作方法，其特征在于，还具备：

使被温度控制为比上述第一试样保持器上的试样表面上覆盖的薄膜的升华温度高的温度的上述微型探针与试样表面接触，使试样表面的薄膜升华而将其去除的步骤。

3.根据权利要求1所述的试样制作方法，其特征在于，还具备：

使被温度控制为上述第一试样保持器上的试样的温度以下的上述微型探针接近上述试样附近，吸附带电粒子束装置内的真空中的污染成分的步骤。

4.根据权利要求1所述的试样制作方法，其特征在于，具备：

通过使进行了温度控制的上述微型探针与搭载在上述第一试样保持器上的试样表面接触，来改变试样的温度的步骤。

5.根据权利要求1所述的试样制作方法，其特征在于，具备：

使上述微型探针与在上述第二试样保持器上保持的常温的试样接触的步骤；

通过与该微型探针连接的冷却源容器冷却上述微型探针的步骤；

连续观察上述试样被冷却的变化的步骤。

6.根据权利要求1所述的试样制作方法，其特征在于，具备：

针对上述微型探针，选择冷却速度，通过与该微型探针连接的冷却源容器以该选择的冷却速度进行冷却，并且使上述微型探针与搭载在上述第一试样保持器上的常温的试样的表面、或保持在上述第二试样保持器上的常温的试样接触的步骤；

连续观察搭载在上述第一试样保持器上的试样的表面、或保持在上述第二试样保持器上的试样被冷却的变化的步骤。

7.根据权利要求1所述的试样制作方法，其特征在于，还具备：

用进行了温度控制的微型探针向搭载在保持冷却的试样保持器上的试样的凸状部分施加载荷，切断试样的一部分的步骤。

8.一种带电粒子束装置，其特征在于，具备：

带电粒子源，其释放带电粒子；

第一试样保持器，其具备将试样保持为冷却的状态的机构；

微型探针，其具备冷却机构；

工作台，其能够导入上述微型探针和上述第一试样保持器；

控制部，其控制以下的处理：

从保持冷却的上述第一试样保持器上的试样切出块状的试样片的处理；

使该试样片与被冷却为一定温度的微型探针的前端粘连，并在上述带电粒子束装置的真空室内将该试样片转移到与上述第一试样保持器不同的保持冷却的薄膜观察用的第二试样保持器的处理；

在从上述微型探针切离了被转移到上述第二试样保持器的该试样片后，将该试样片薄膜加工为比切出时的厚度薄的厚度的处理；以及

观察薄膜加工后的该试样片的处理。

9.根据权利要求8所述的带电粒子束装置，其特征在于，

上述控制部从显微镜图像中测量上述第一试样保持器上的试样的位置坐标，跟踪试样坐标的位移来使上述微型探针的前端的位置位移。