[发明专利]加速度传感器在审
| 申请号： | 201480031838.5 | 申请日： | 2014-05-14 |
| 公开（公告）号： | CN105308463A | 公开（公告）日： | 2016-02-03 |
| 发明（设计）人： | 浜村宏 | 申请（专利权）人： | 株式会社村田制作所 |
| 主分类号： | G01P21/00 | 分类号： | G01P21/00;B81B3/00;G01P15/12;H01L29/84 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 胡秋瑾 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 加速度 传感器 | ||
【权利要求书】：
1.一种加速度传感器，其特征在于，包括：
固定部；
相对于所述固定部可自由移位地被支撑的重锤部；
连接于所述固定部和所述重锤部，且设有压阻元件的检测梁；
在所述检测梁之外另设的、连接于所述固定部和所述重锤部的支撑梁；以及
两端引出到所述固定部，并以穿过所述支撑梁的方式布线的布线部。
2.如权利要求1所述的加速度传感器，其特征在于，所述固定部、所述重锤部、所述检测梁和所述支撑梁中至少所述支撑梁由硅衬底构成，所述布线部包括在所述硅衬底中注入杂质而形成的注入布线。
3.如权利要求1或2所述的加速度传感器，其特征在于，所述布线部在所述支撑梁上的布线宽度局部地拓宽。
4.如权利要求1至3中任一项所述的加速度传感器，其特征在于，所述布线部连接有所述压阻元件。
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