[发明专利]加速度传感器

说明书

技术领域

本发明涉及使用压阻元件的加速度传感器。

背景技术

加速度传感器使用的结构包括设有压阻元件的检测梁、支撑检测梁的固定部和由检测梁支撑的重锤部。这种结构的加速度传感器在制造中有可能发生检测梁的断裂，为了检测检测梁的故障，环绕压阻元件的周边而设置故障检测用的电阻布线(例如参照专利文献1和2)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利特开平7‐43381号公报

专利文献2：日本专利特开平7‐325105号公报

发明内容

发明要解决的技术问题

关于加速度传感器，有为了调整振动特性等而在检测梁之外另设置用于支撑重锤部的支撑梁的情况。在这种情况下，如果加速度传感器的制造中支撑梁上出现破损等，就会发生加速度传感器的特性变动。伴随梁破损的特性变动可以通过检测梁上的压阻元件的输出变化来检测，但是，根据压阻元件的输出变化进行加速度传感器的特性分选操作很繁杂，另外，很难可靠地分选出发生了特性不良的加速度传感器。

因此，本发明的目的在于提供这样的加速度传感器，其使得特性分选操作易于进行，能够可靠地分选出发生了特性不良的加速度传感器。

用于解决技术问题的手段

本发明所涉及的加速度传感器包括固定部、重锤部、检测梁、支撑梁以及布线部。重锤部相对于固定部可自由移位地被支撑。检测梁连接于固定部和重锤部，并设置有压阻元件。在检测梁之外另设有支撑梁，该支撑梁连接于固定部和重锤部。布线部以穿过支撑梁的方式布线，其两端引出到固定部。

在此结构中，能利用支撑梁中所设的布线部进行加速度传感器的特性分选。即，能分选出因支撑梁的破损而发生了振动特性等的特性变动的加速度传感器。因此，不需要根据压阻元件的输出变化来进行加速度传感器的特性分选的繁杂的操作，另外，能够更可靠地分选出因支撑梁的破损而发生特性不良的加速度传感器。

在上述的加速度传感器中，优选的是：在固定部、重锤部、检测梁和支撑梁中至少支撑梁由硅衬底制成，布线部包括在硅衬底注入杂质而形成的注入布线。

在此结构中，不存在布线部对支撑梁的不必要的应力作用。假如由金属布线构成布线部，则可能会有膜应力作用于支撑梁，同时温度又会使膜应力发生改变，从而引起加速度传感器的特性变动。然而，如果由注入布线构成支撑梁上的布线部，就不会引起这样的加速度传感器的特性变动。

对于上述的加速度传感器，优选的是：布线部在支撑梁上的布线宽度局部地拓宽。

在此结构中，能降低注入布线的布线电阻。另外，即使支撑梁的宽度较大，也能在支撑梁的宽度方向的整个区域内检测破损。

对于上述的加速度传感器，布线部可以连接压阻元件。

在此结构中，能在测定压阻元件的输出特性的同时检测出伴随梁的破损的特性变动，可以简化制造工序。

发明效果

按照本发明，能利用支撑梁中所设的布线部进行加速度传感器的特性分选，而不需要根据压阻元件的输出变化来对产生了伴随支撑梁破损的加速度传感器的特性变动的加速度传感器进行分选的繁杂的操作。另外，通过利用支撑梁中所设的布线部的加速度传感器的特性分选，能够更可靠地分选出发生了特性不良的加速度传感器。

附图说明

图1是本发明第一实施方式所涉及的加速度传感器的立体图。

图2是本发明第一实施方式所涉及的加速度传感器的俯视图和剖视图。

图3是用于说明本发明第一实施方式所涉及的加速度传感器的布线结构的俯视图。

图4是用于说明本发明第一实施方式所涉及的加速度传感器的制造方法的剖视图。

图5是用于说明本发明第二实施方式所涉及的加速度传感器的布线结构的俯视图。

图6是用于说明本发明第三实施方式所涉及的加速度传感器的布线结构的俯视图。

图7是用于说明本发明第四实施方式所涉及的加速度传感器的布线结构的俯视图。

具体实施方式

《第一实施方式》

接着，参照图1～4说明本发明第一实施方式所涉及的加速度传感器。各图中，标注了沿加速度传感器的厚度方向的Z轴、沿加速度传感器的平面方向的、垂直于Z轴的Y轴以及与Z轴和Y轴正交的轴即X轴。