[发明专利]供电部件以及具备该供电部件的高速电镀装置

权利要求书

1.一种供电部件，其与被镀物接触并对被镀物施加负电压，该被镀物以在该被镀物与阳极之间形成了供电镀液流动的空间的状态而被配置且具有圆柱形状部，

所述供电部件的特征在于，具备：铜制的中心部件；钛制的被覆部件，其对该中心部件的四周的至少所述电镀液所浸湿的部位进行被覆，

所述供电部件的顶端具有被切口形成为V字状的切口部，并且在电镀时，所述切口部与所述圆柱形状部的外周面接触，

所述被覆部件形成有圆柱形状的插入空间，在该插入空间的内周面上形成有螺纹牙，

所述中心部件为在外周面上形成有外螺纹的圆柱形状，并且被旋入所述插入空间内且被钎焊在所述被覆部件上。

2.如权利要求1所述的供电部件，其特征在于，

所述供电部件朝向以如下状态被配置的被镀物而进退自如，并且所述供电部件为以该进退方向为轴向的圆柱形状，所述状态为，在被镀物与阳极之间形成了供电镀液流动的空间的状态。

3.一种高速电镀装置，其特征在于，具备：

权利要求1或2所述的供电部件；

阳极；

循环装置，其使电镀液以在该阳极与被镀物之间流动的方式进行循环；

电源装置，其经由所述阳极以及所述供电部件而对所述被镀物进行通电。