[发明专利]供电部件以及具备该供电部件的高速电镀装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种供电部件以及具备该供电部件的高速电镀装置。

背景技术

在专利文献1中公开了一种现有的高速电镀装置。该高速电镀装置具备由金属筒和盖部件构成的密闭容器，其中，所述金属筒为阳极，所述盖部件一体地结合在该金属筒的两端上。金属筒为铜制，并在其内表面以及端面上电沉积有铂薄膜。相对置的两个盖部件设置有供栓部件滑动自如地插穿的插穿孔。栓部件为对被镀物进行夹持并保持的部件，且构成保持装置的一部分。此外，栓部件也为与被镀物接触并施加负电压的供电部件。为了防止由电镀液导致的溶解，该栓部件通过耐腐蚀性的树脂而被覆膜。

另外，该高速电镀装置具备电源装置，所述电源装置以向金属筒施加正电压且向被镀物施加负电压的方式，对金属筒以及栓部件进行通电。此外，该高速电镀装置具备由以使电镀液在密闭容器内流动的方式使电镀液进行循环的泵等构成的循环装置。

该高速电镀装置在将栓部件所夹持的被镀物收纳至密闭容器内之后，以使电镀液在密闭容器内流动的方式对泵进行驱动。而且，通过向金属筒施加正电压并经由栓部件而向被镀物施加负电压，从而能够实施电镀时间较短的高速电镀。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开昭55-138097号公报

发明内容

发明所要解决的课题

但是，当专利文献1的高速电镀装置的栓部件在插穿孔中滑动且被施加有负电压时，会发热并膨胀。因此，为了不会被电镀液溶解的而对该栓部件进行了被覆的耐腐蚀性的树脂可能会劣化并剥落。由于当对栓部件进行被覆的耐腐蚀性的树脂剥落时，可能发生栓部件被电镀液溶解、或者电镀液从栓部件的外周面与插穿孔的内周面之间漏泄的情况，因此需要更换栓部件。

本发明为鉴于上述现有的情况而完成的发明，其将提供一种能够长期良好地实施电镀的供电部件以及具备该供电部件的高速电镀装置作为应当解决的课题。

用于解决课题的方法

本发明的供电部件与被镀物接触并向被镀物施加负电压，该被镀物以在阳极与该被镀物之间形成了使电镀液流动的空间的状态而被配置，所述供电部件的特征在于，具备：铜制的中心部件；钛制的被覆部件，其对该中心部件的四周的至少所述电镀液所浸湿的部位进行被覆。

发明效果

在该供电部件的电镀液所浸湿的部位处，通过与铜相比而耐腐蚀性较高的钛制的被覆部件而对铜制的中心部件进行被覆。因此，该供电部件提高了相对于电镀液的耐腐蚀性。因此，能够减少该供电部件的更换频率。此外，由于该供电部件具备与钛相比电传导率较高的铜制的中心部件，因此与仅由钛而形成的供电部件相比，能够对供电时的发热量进行抑制，并且能够减少电镀液的温度上升。

因此，本发明的供电部件以及具备该供电部件的高速电镀装置能够长期良好地实施电镀。

附图说明

图1为表示沿着实施例的高速电镀装置的第二供电部件的移动方向的截面的剖视图。

图2为表示沿着实施例的高速电镀装置的保持部件的移动方向的截面的剖视图。

图3表示实施例的阳极，(A)为表示将钛制的平板料与铂制的平板料焊接在一起的状态的剖视图，(B)为表示卷成圆筒状并使端面对接而焊接在一起的状态的剖视图。

图4为表示实施例的阳极与第一供电部件的剖视图。

图5为将实施例的高速电镀装置的与阳极的上部相比靠上方的部分进行放大的剖视图。

图6为将实施例的高速电镀装置的对阳极下部进行支承的下部承受部件四周放大后的剖视图。

图7为从上方观察实施例的高速电镀装置的俯视图。

图8为实施例的第二供电部件所处的位置的水平剖视图。

图9为实施例的第二供电部件的局部剖视图。

图10为实施例的保持部件所处的位置的水平剖视图。

图11为表示沿着实施例的高速电镀装置的第二供电部件的移动方向的截面、且为被镀物下降至阳极内前的剖视图。

图12为表示沿着实施例的高速电镀装置的保持部件的移动方向的截面、且为被镀物下降至阳极内前的剖视图。

图13为表示沿着实施例的高速电镀装置的第二供电部件的移动方向的截面、且为被镀物的下端部被插入到支承棒的上端的凹部中的状态的剖视图。

图14为表示沿着实施例的高速电镀装置的第二供电部件的移动方向的截面、且为被镀物下降至阳极内的状态的剖视图。

图15为表示实施例的第二供电部件的顶端部与被镀物的外周面接触的状态的剖视图。