[发明专利]真空泵

权利要求书

1.一种真空泵，具备螺纹槽泵机构，该螺纹槽泵机构具有：转子圆筒部，设置在能够沿既定的旋转方向旋转的转子；大致圆筒状的定子，在该转子圆筒部经由间隙而配置在与所述转子圆筒部相同的轴上；多个突条部，在该定子的与所述转子圆筒部对置的对置面或所述转子圆筒部的与所述定子对置的对置面沿着气体排气方向延伸设置；以及螺纹槽，雕刻设置在该多个突条部之间，该真空泵将所述螺纹槽内的气体从所述气体排气方向的吸气侧向排气侧传送，其特征在于，

具备抑制所述螺纹槽的排气侧出口处的气体的滞留的气体滞留抑制装置，

所述气体滞留抑制装置是从所述突条部的所述气体排气方向的排气侧的排气侧端部朝向所述转子的所述旋转方向的前方延伸设置而形成的流入抑制叶片。

2.一种真空泵，具备螺纹槽泵机构，该螺纹槽泵机构具有：转子圆筒部，设置在能够沿既定的旋转方向旋转的转子；大致圆筒状的定子，在该转子圆筒部经由间隙而配置在与所述转子圆筒部相同的轴上；多个突条部，在该定子的与所述转子圆筒部对置的对置面或所述转子圆筒部的与所述定子对置的对置面沿着气体排气方向延伸设置；以及螺纹槽，雕刻设置在该多个突条部之间，该真空泵将所述螺纹槽内的气体从所述气体排气方向的吸气侧向排气侧传送，其特征在于，

具备抑制所述螺纹槽的排气侧出口处的气体的滞留的气体滞留抑制装置，

所述气体滞留抑制装置是竖立设置在所述转子圆筒部或所述定子的排气侧端面的回旋滞留抑制壁。

3.根据权利要求2所述的真空泵，其特征在于，所述回旋滞留抑制壁具备相对于朝向所述转子圆筒部或所述定子的轴心的法线方向而沿着所述转子的所述旋转方向倾斜的气体诱导面。

4.根据权利要求2或3所述的真空泵，其特征在于，所述回旋滞留抑制壁与所述突条部一体地形成。