[发明专利]保管容器有效
| 申请号： | 201480035882.3 | 申请日： | 2014-06-05 |
| 公开（公告）号： | CN105324715B | 公开（公告）日： | 2019-12-10 |
| 发明（设计）人： | 雁部政彦 | 申请（专利权）人： | 村田机械株式会社 |
| 主分类号： | G03F1/66 | 分类号： | G03F1/66;B65D85/86;H01L21/027;H01L21/673 |
| 代理公司： | 11227 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人： | 舒艳君;田军锋 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 保管 容器 | ||
1.一种保管容器，其设有多层具有收纳物品的收纳区域的保管部，其特征在于，
具备：供给部，其供给吹扫气体；
管道部，其设置于多个所述保管部中的每一个，在多个所述保管部重叠的状态下遍及多个所述保管部地连通而成为从所述供给部供给的所述吹扫气体的流路；以及
导入部，其将所述管道部与所述收纳区域连通并将所述吹扫气体向所述收纳区域导入，
在所述管道部的所述吹扫气体的流路配置有扩散部件，
在多个所述保管部被层叠的状态下，多个所述保管部中的一个所述保管部的所述管道部与其他所述保管部的所述管道部连通，多个所述管道部整体形成所述流路。
2.根据权利要求1所述的保管容器，其特征在于，
所述扩散部件是从所述管道部的内壁突出的板状的部件。
3.根据权利要求1所述的保管容器，其特征在于，
所述扩散部件配置于被从所述供给部供给的所述吹扫气体的流入方向的延长线上。
4.根据权利要求2所述的保管容器，其特征在于，
所述扩散部件配置于被从所述供给部供给的所述吹扫气体的流入方向的延长线上。
5.根据权利要求1～4中任一项所述的保管容器，其特征在于，
所述扩散部件设置于在所述供给部的附近配置的所述保管部。
6.根据权利要求2～4中任一项所述的保管容器，其特征在于，
所述扩散部件的面积根据距所述供给部的距离而不同。
7.根据权利要求5所述的保管容器，其特征在于，
所述扩散部件的面积根据距所述供给部的距离而不同。
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G03F 图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F1-00 用于图纹面的照相制版的原版，例如掩膜，光掩膜；其所用空白掩膜或其所用薄膜；其专门适用于此的容器；其制备
G03F1-20 .用于通过带电粒子束(CPB)辐照成像的掩膜或空白掩膜，例如通过电子束；其制备
G03F1-22 .用于通过100nm或更短波长辐照成像的掩膜或空白掩膜，例如 X射线掩膜、深紫外
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G03F1-36 .具有临近校正特征的掩膜；其制备，例如光学临近校正(OPC)设计工艺
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