[发明专利]保管容器

说明书

本发明提供实现吹扫气体的流速的均匀化的保管容器。保管容器(1)由具有收纳物品的收纳区域(S)的保管部(5)多层设置而成，具备供给吹扫气体的供给部(10)、遍及多个保管部(5)连通地设置而成为作为被从供给部供给的吹扫气体的流路的管道部(22)、以及将管道部(22)与收纳区域(S)连通并将吹扫气体导入收纳区域(S)的导入部(24)，在管道部(22)的吹扫气体的流路配置有扩散部件(32)。

技术领域

本发明涉及保管容器。

背景技术

对用于半导体等曝光的中间掩膜而言，在进行输送、保管时为了保护其远离尘、埃而需要保持为干净的状态。因此，在保管中间掩膜的保管容器中，向其内部供给吹扫气体(干净气体)(例如，参照专利文献1)。

专利文献1：日本专利4215079号公报

保管容器有将收纳中间掩膜的保管部上下重叠多层的结构。在这样的保管容器中，一般从一个位置的供给部向内部供给吹扫气体，经由遍及上下设置的流路向各保管部供给吹扫气体。在该情况下，在保管容器内中，在接近供给部的部分，吹扫气体的流速快，而在远离供给部的部分，吹扫气体的流速慢。因此，在保管容器中，吹扫气体的流速变得不均匀，其结果是，存在在保管部中的吹扫气体的气氛产生差异的顾虑。

发明内容

本发明的目的是提供一种实现吹扫气体的流速均匀化的保管容器。

本发明的一个方面的保管容器设有多层具有收纳物品的收纳区域的保管部，其特征在于，具备：供给部，其供给吹扫气体；管道部，其在多个保管部重叠的状态下遍及多个保管部地连通而成为从供给部供给的吹扫气体的流路；以及导入部，其将管道部与收纳区域连通并将吹扫气体向收纳区域导入，在管道部的吹扫气体的流路配置有扩散部件。

在该保管容器中，在管道部的吹扫气体的流路配置有扩散部件。由此，在保管容器中，吹扫气体通过扩散部件而被扩散。因此，在保管容器中，例如将扩散部件配置于流速快的部分，从而能够降低流速。因此，在保管容器中，能够实现吹扫气体的流速的均匀化。其结果是，在保管容器中，即使在通常流速快的部分，吹扫气体也能大范围地遍及，所以能够抑制各保管部的吹扫气体的气氛的差异。

在一实施方式中，扩散部件也可以是从管道部的内壁突出的板状的部件。由此，在保管容器中，能够通过简易的结构使吹扫气体扩散，所以能够通过简易的结构实现吹扫气体的流速的均匀化。

在一实施方式中，扩散部件可以配置于被从供给部供给的吹扫气体的流入方向的延长线上。吹扫气体在从供给部的流入方向流速变快。因此，将扩散部件配置于吹扫气体的流入方向的延长线上，由此能够有效地使吹扫气体扩散，能够有效能够实现流速的均匀化。

在一实施方式中，扩散部件可以设置于在供给部的附近配置的保管部。吹扫气体在接近供给部的部分的流速变快，在远离供给部的部分的流速变慢。因此，在保管容器中，将扩散部件设置于在供给部的附近配置的保管部。由此，在保管容器中，利用扩散部件使吹扫气体扩散，由此能够降低接近供给部的部分的吹扫气体的流速。因此，在保管容器中，能够很好地实现吹扫气体的流速的均匀化。

在一实施方式中，扩散部件的面积可以根据距供给部的距离而不同。如上述那样，吹扫气体在接近供给部的部分的流速变快，在远离供给部的部分的流速变慢。因此，在保管容器中，例如增大配置于接近供给部的位置的扩散部件的面积，由此能够更有效地使吹扫气体扩散。其结果是，在保管容器中，能够很好地实现吹扫气体的流速的均匀化。

根据本发明，能实现吹扫气体的流速的均匀化。

附图说明

图1是一实施方式的保管容器的主视图。

图2是图1所示的保管容器的侧视图。

图3是图1所示的保管容器的仰视图。

图4是图1所示的保管容器的俯视图。