[发明专利]光固化性组合物和使用其制造光学组件的方法

权利要求书

1.一种光固化性组合物，其用于在含有冷凝性气体的气氛中进行压印，其特征在于，所述光固化性组合物包含：

组分A，其为(甲基)丙烯酸酯单体；

组分B，其为光聚合引发剂；和

组分C，其为脱模剂，

其中在5摄氏度和1个大气压下所述组分C在所述冷凝性气体中的饱和溶解度为50重量％以上，所述冷凝性气体在5摄氏度和1个大气压下为液态，

其中所述组分C是由式(4)表示的化合物：

[化学式4]

其中，R表示烷基；X表示选自羟基、羧基、磺基、烷氧基、吡啶基和硅烷醇基中的一种；a和b各自表示0以上的整数，选自a和b中的至少一个表示1以上，当a或b为2以上且a+b为3以上时，氧乙烯基和氧丙烯基可以是无规共聚的或嵌段共聚的。

2.根据权利要求1所述的光固化性组合物，其中a和b之和为10以上。

3.根据权利要求1所述的光固化性组合物，其中a表示9以上。

4.根据权利要求1所述的光固化性组合物，其中b表示0。

5.根据权利要求1所述的光固化性组合物，其中R表示具有20个以下的碳原子的烷基。

6.根据权利要求1所述的光固化性组合物，其中所述组分C是由下式(6)或(7)表示的化合物：

[化学式5]

[化学式6]

其中，式(6)中的氧乙烯基和氧丙烯基可以是无规共聚的或嵌段共聚的。

7.根据权利要求1所述的光固化性组合物，其中在5摄氏度和1个大气压下所述组分C在液态的所述冷凝性气体中的饱和溶解度高于在5摄氏度和1个大气压下所述组分A在液态的所述冷凝性气体中的饱和溶解度。

8.根据权利要求1所述的光固化性组合物，其中所述组分A包含丙烯酸异冰片酯和1,10-癸二醇二丙烯酸酯。

9.根据权利要求1所述的光固化性组合物，其中所述气氛是含有所述冷凝性气体和非冷凝性气体的混合气体气氛。

10.根据权利要求9所述的光固化性组合物，其中所述非冷凝性气体为氦气。

11.根据权利要求1所述的光固化性组合物，其中所述冷凝性气体为选自氯氟烃、氟烃、氢氯氟烃、氢氟烃和氢氟醚的一种。

12.根据权利要求1所述的光固化性组合物，其中所述冷凝性气体为1,1,1,3,3-五氟丙烷。

13.一种制造图案化膜的方法，所述方法包括：

将光固化性组合物配置到基板上的步骤；

在含有冷凝性气体的气氛中，使所述光固化性组合物与模具接触的步骤，所述模具具有用于转印图案形状的原始图案；

用光照射所述光固化性组合物以形成固化膜的步骤；和

将所述固化膜与所述模具分离的步骤，

其特征在于，所述光固化性组合物包含：

组分A，其为(甲基)丙烯酸酯单体；

组分B，其为光聚合引发剂；和

组分C，其为脱模剂，

其中在5摄氏度和1个大气压下所述组分C在所述冷凝性气体中的饱和溶解度为50重量％以上，所述冷凝性气体在5摄氏度和1个大气压下为液态。

14.根据权利要求13所述的方法，其中所述组分C是由式(4)表示的化合物：

[化学式4]

其中，R表示烷基或氢被氟取代的烷基；X表示选自羟基、羧基、磺基、烷氧基、吡啶基和硅烷醇基中的一种；a和b各自表示0以上的整数，选自a和b中的至少一个表示1以上，当a或b为2以上且a+b为3以上时，氧乙烯基和氧丙烯基可以是无规共聚的或嵌段共聚的。

15.根据权利要求14所述的方法，其中R表示烷基。

16.根据权利要求14所述的方法，其中a和b之和为10以上。

17.根据权利要求14所述的方法，其中a表示9以上。

18.根据权利要求14所述的方法，其中b表示0。

19.根据权利要求14所述的方法，其中R表示具有20个以下的碳原子的烷基。