[发明专利]涂敷装置及涂敷装置的控制方法

说明书

提供形成始端及末端的形状错乱小的带状涂敷膜的涂敷装置。涂敷装置包括供给涂敷液的供给部、和涂敷部(3)，涂敷部(3)使从供给部所供给的涂敷液相对于基材以规定的宽度涂敷，涂敷部(3)具有：供给口(4)，供给涂敷液；第1缓冲室(5)，将从供给口(4)流入的涂敷液在宽度方向上分配；阻力通道(6)，相对于从第1缓冲室(5)流入的涂敷液施加比第1缓冲室(5)中的流体阻力大的流体阻力；第2缓冲室(7)，将从阻力通道(6)流入的涂敷液在宽度方向上分配；开闭阀(8)，设置在第2缓冲室(7)内部而控制从第2缓冲室(7)的上游向下游的连通和阻断；以及，狭缝喷嘴(10)，将经过开闭阀(8)而从第2缓冲室(7)流入的涂敷液相对于基材以规定的宽度吐出。

技术领域

本发明涉及适于从狭缝状的吐出口吐出涂敷液而在基材上形成带状的涂敷膜的用途、特别是断续地形成涂敷膜的用途的涂敷装置及涂敷装置的控制方法。

背景技术

作为使粘接剂等涂敷液呈带状涂敷的涂敷装置，例如具备狭缝状的吐出口(也称为狭缝喷嘴、缝隙，下同)。该涂敷装置具有涂敷部，该涂敷部具有狭缝状的吐出口，该狭缝状的吐出口具有与所形成的涂敷膜带的宽度相同尺寸的宽度，使该吐出口与进行涂敷的基材对置地配置，在吐出口与基材之间设置与涂敷膜的厚度对应的规定的间隔。并且，与从供给部供给涂敷液同时地，使基材相对于吐出口(或者反之使吐出口相对于基材)在涂敷膜的形成方向上移动，从而将涂敷液呈带状涂敷。

然而，在这种涂敷装置中，从供给部供给的涂敷液，从供给口进入涂敷部内，在涂敷部内在缝隙的宽度方向上扩展而从吐出口吐出。涂敷液的流动从涂敷部内的壁面受到阻力，因此在采用将从供给口流入的涂敷液单纯地在缝隙的宽度方向上分配的形状的涂敷部的情况下，会产生如下问题。从供给口向吐出口流动的路径的长度不一样，因此在吐出口的缝隙的宽度方向上产生压力差，导致涂敷膜的厚度不均匀。例如，在将供给口配置于缝隙的中央上游部时，则缝隙的中央附近的吐出压增大，吐出量也会增加，因此导致涂敷膜的带的厚度在中央附近增大。

为了解决该课题，例如在日本特开平9－276769号记载的涂敷装置中构成为，在涂敷部内的供给口与狭缝状的吐出口(狭缝喷嘴)之间，将具有与缝隙大致相同长度的宽度的存液部与缝隙平行设置，在存液部内还在缝隙与供给口之间设置至少1个的液流阻尼部件。这样使得吐出口的压力均匀化。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开平9－276769号

发明内容

发明所要解决的课题

但是，在这种涂敷装置中假定为连续的涂敷，在停止涂敷液的吐出的情况下，存在涂敷膜的末端形状错乱这样的问题。即，在从供给部利用泵等输送涂敷液的状态下使泵停止时，会因存液部内残存的压力使涂敷液不均匀地吐出，末端的形状会发生错乱。并且，在重启涂敷液的吐出时，在向存液部内输送的涂敷液的压力稳定之前的期间吐出压力也不稳定，因此存在涂敷膜的始端形状也会发生错乱这样的问题。

本发明是针对上述情况做出的，目的是提供形成带状的涂敷膜的且形成始端及末端的形状错乱小的涂敷膜的涂敷装置及涂敷装置的控制方法。

用于解决课题的手段

本发明为一种涂敷装置，包括供给涂敷液的供给部、和涂敷部，所述涂敷部将从所述供给部所供给的所述涂敷液相对于基材以规定的宽度涂敷，所述涂敷装置的特征在于，所述涂敷部具有：供给口，供给所述涂敷液；第1缓冲室，将从所述供给口流入的所述涂敷液在所述宽度方向上分配；阻力通道，相对于从所述第1缓冲室流入的所述涂敷液施加比所述第1缓冲室中的流体阻力大的流体阻力；第2缓冲室，将从所述阻力通道流入的所述涂敷液在所述宽度方向上分配；开闭阀，设置在所述第2缓冲室的内部而控制从所述第2缓冲室的上游向下游的连通和阻断；以及，狭缝喷嘴，将经过所述开闭阀而从所述第2缓冲室流入的所述涂敷液相对于所述基材以所述规定的宽度吐出。

发明的效果